【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基于质量管理决策系统,更具体地说,本专利技术涉及一种基于质量管理决策系统的数理统计分析方法。
技术介绍
1、在一些对制造环境要求较高的生产间,如半导体生产车间、制药厂和高精度光学设备制造厂等,空气中的杂质检测是确保产品质量和生产过程稳定性的关键。因为这些生产环境对空气中的颗粒物和污染物有着极其严格的限制,任何微小的杂质都可能导致产品缺陷或生产事故。因此,准确、高效地检测和控制空气中的杂质成为了这些高标准生产环境中的重要任务。
2、例如公布号为:cn114781835a的专利技术专利公布的一种采用统计过程控制晶圆加工的方法,包括统计过程控制单元、数据库和反馈单元,统计过程控制单元具有数据处理模块和判断模块,统计过程控制单元读取数据库内的数据,先将加工工艺数据以及标准的晶圆设计参数;然后进行划分匹配同时制定调整规则;接着通过判断模块将检测数据与晶圆设计参数进行判断比较,比较结果按照符合程度分为接近标准、符合标准和不良,根据接近标准、符合标准和不良的比较结果进行反馈,需要调整则将晶圆设计参数对应加工工艺数据根据调整规
...【技术保护点】
1.一种基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述空气杂质数据包括工作间空气中的杂质的半径,所述预设半径包括监测半径和半径窗口;
3.根据权利要求2所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述杂质概率数据包括杂质概率和杂质概率平均值。
4.根据权利要求3所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述基于循环算法,获取初始的预设分布参数的松柏分布模型中的实际杂质数均值和杂质预警值,具体为:
...【技术特征摘要】
1.一种基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述空气杂质数据包括工作间空气中的杂质的半径,所述预设半径包括监测半径和半径窗口;
3.根据权利要求2所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述杂质概率数据包括杂质概率和杂质概率平均值。
4.根据权利要求3所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述基于循环算法,获取初始的预设分布参数的松柏分布模型中的实际杂质数均值和杂质预警值,具体为:
5.根据权利要求4所述的基于质量管理决策系统的数理统计分析方法,其特征在于,所述得到若干组第二空气杂质数据训练集,具体为:
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:王静怡,翟晓萌,吴霜,程曦,胡亚山,王球,仓敏,刘汇川,诸德律,孙海森,张华,刘迪,刘婷,凌俊斌,吴雪,徐佳琪,王瑞武,
申请(专利权)人:安徽博诺思信息科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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