一种微纳加工平台的管理方法、装置、计算机设备和存储介质制造方法及图纸

技术编号:42825276 阅读:30 留言:0更新日期:2024-09-24 21:01
本申请提供了一种微纳加工平台的管理方法、装置、计算机设备和存储介质。该方法包括利用各摄像模组所配置的至少一种异常识别机制,分别对各摄像模组对应的监测区域进行异常识别,得到异常识别结果;根据异常识别结果,确定关联主体,并对关联主体的异常记录进行更新;若异常记录满足升级条件,则提升对关联主体的处理等级,否则,保持对关联主体的处理等级;采用当前处理等级对应的处理手段,对关联主体进行处理。该方法为平台的高效无人化管理提供了有力支持,显著提高了管理效率并降低了管理成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体微纳加工,尤其涉及一种微纳加工平台的管理方法、装置、计算机设备和存储介质


技术介绍

1、随着半导体工艺的发展,微纳加工技术已经成为半导体行业的关键技术之一。在微纳加工平台中,需要对内部的人员、物品等进行精益管理,可提高微纳加工平台的可靠性、耐用性、安全性等。传统管理方式需要管理员在识别、处理等方面都深度参与,不但费时费力,还无法避免出现错漏问题,大大提高了管理成本,不利于微纳加工平台的长远发展。


技术实现思路

1、本申请的目的旨在至少能解决上述的技术缺陷之一,特别传统技术中的平台管理需要管理员深度参与所导致的成本高、效率低的问题。

2、第一方面,本申请提供了一种微纳加工平台的管理方法,微纳加工平台设置了多个摄像模组,管理方法包括:

3、利用各摄像模组所配置的至少一种异常识别机制,分别对各摄像模组对应的监测区域进行异常识别,得到异常识别结果;

4、根据异常识别结果,确定关联主体,并对关联主体的异常记录进行更新;

5、若异常记录满足升级条件,则提升本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微纳加工平台的管理方法,其特征在于,所述微纳加工平台设置了多个摄像模组,所述管理方法包括:

2.根据权利要求1所述的管理方法,其特征在于,所述处理等级包括由低到高的第一处理等级和第二处理等级,所述采用当前所述处理等级对应的处理手段,对所述关联主体进行处理,包括:

3.根据权利要求2所述的管理方法,其特征在于,所述异常记录包括在当前统计周期内出现异常的次数,所述升级条件包括:

4.根据权利要求2所述的管理方法,其特征在于,所述异常识别机制包括人员异常识别机制,所述异常识别结果包括人员异常识别结果,利用所述人员异常识别机制对所述监测区域进行异常识别...

【技术特征摘要】

1.一种微纳加工平台的管理方法,其特征在于,所述微纳加工平台设置了多个摄像模组,所述管理方法包括:

2.根据权利要求1所述的管理方法,其特征在于,所述处理等级包括由低到高的第一处理等级和第二处理等级,所述采用当前所述处理等级对应的处理手段,对所述关联主体进行处理,包括:

3.根据权利要求2所述的管理方法,其特征在于,所述异常记录包括在当前统计周期内出现异常的次数,所述升级条件包括:

4.根据权利要求2所述的管理方法,其特征在于,所述异常识别机制包括人员异常识别机制,所述异常识别结果包括人员异常识别结果,利用所述人员异常识别机制对所述监测区域进行异常识别,包括:

5.根据权利要求4所述的管理方法,其特征在于,所述第一检测模型还用于对多个异常穿戴项分别生成对应的异常穿戴检测框,所述第一检测结果包括穿戴检测结果;所述根据第一检测模型的输出,得到第一检测结果,包括:

6.根据权利要求5所述的管理方法,其特征在于,在所述将所述第一检测结果中包含异常项的作为一个所述人员异常识别结果之前,还包括:

7.根据权利要求6所述的管理方法,其特征在于,所述判断所述人员检测框对应的人员是否为正面,包括:

8.根据权利要求6所述的管理方法,其特征在于,若所述异常穿戴检测框的类型为着装类,所述异常穿戴检测框对应的识别对象包括未穿洁净服、未戴手套、未戴防护眼镜、未戴口罩中的至少一项。

9.根据权利要求5所述的管理方法,其特征在于,所述将所述异常穿戴检测框与所述人员检测框进行匹配,包括:

10.根据权利要求4所述的管理方法,其特征在于,所述第一检测结果包括位置检测结果;所述根据第一检测模型的输出,得到第一检测结果,包括:

11.根据权利要求10所述的管理方法,其特征在于,在所述将所述第一检测结果中包含异常项的作为一个所述异常识别结果之前,还包括:

12.根据权利要求4所述的管理方法,其特征在于,所述微纳加工平台内的人员佩戴了由预设数量个不同识别图案组成的识别图案组合,所述识别图案组合对应一个唯一检测标识,所述为各所述第一检测结果分配与人员身份对应的唯一标识,包括:

13.根据权利要求12所述的管理方法,其特征在于,所述为各所述第一检测结果分配与人...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊威王冠初陈雪娥李艺杰徐巍
申请(专利权)人:香港科技大学广州
类型:发明
国别省市:

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