一种多晶硅行业的超纯水处理系统技术方案

技术编号:42777246 阅读:35 留言:0更新日期:2024-09-21 00:39
本技术公开了一种多晶硅行业的超纯水处理系统,属于多晶硅行业超纯水制备处理技术领域,包括依次相连的原水池、换热器、超滤水箱、两级反渗透系统、UV杀菌装置、一级脱气膜、EDI装置、超纯水氮封水箱、TOC‑UV系统、二级脱气膜、抛光混床和终端两级精密过滤器;所述换热器和超滤水箱之间设置有外压式超滤膜系统用于液体分离和过滤处理;采用“换热器+超滤+两级反渗透+UV杀菌+一级脱气膜+EDI+超纯水箱+TOC‑UV+二级脱气膜+抛光混床+终端两级精密过滤”处理系统,降低了工艺的繁琐性,大幅减少了化学品的使用,有利于环境保护,降低对人工的技能要求,提高全厂的自动化水平。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于多晶硅行业超纯水制备处理,特别的涉及一种多晶硅行业的超纯水处理系统


技术介绍

1、新能源行业主要的产品为多晶硅,多晶硅生产过程中需要大量高品质高纯度的超纯水进行清洗、配药,以生产高品质的多晶硅,用以供应下游企业生产使用,目前采取的比较成熟的工艺是以自来水作水源,经一级换热器-多介质过滤器-活性炭过滤器+阳床+除碳器+阴床+uv杀菌+保安过滤器+反渗透+一级toc-uv+混床+脱气膜+超纯水箱+二级换热器+二级toc-uv+抛光混床+二级脱气膜+终端超滤制备高品质的超纯水,从电阻率、微粒子、生菌、toc各方面达到用水标准。

2、但当前的超纯水系统流程较为繁琐冗余,前后涉及到17个工艺段,造成能耗大,运行成本高(需要药剂消耗),基础建设投资高等特点,此外对运营维护人员的素质提出了较高的要求,为此,提出一种多晶硅行业的超纯水处理系统。


技术实现思路

1、基于此,有必要提供一种多晶硅行业的超纯水处理系统用于解决当前的超纯水系统流程和工艺较为繁琐的问题。

2、为解决上述
技术介绍
中提出本文档来自技高网
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【技术保护点】

1.一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:包括依次相连的原水池、换热器(1)、超滤水箱(2)、两级反渗透系统(3)、UV杀菌装置(4)、一级脱气膜(5)、EDI装置(6)、超纯水氮封水箱(7)、TOC-UV系统(8)、二级脱气膜(9)、抛光混床(10)和终端两级精密过滤器(11);所述换热器(1)和超滤水箱(2)之间设置有外压式超滤膜系统用于液体分离和过滤处理。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:所述外压式超滤膜系统内设置有超滤膜丝,所述超滤膜丝具有完全不对称结构,与进水接触的一侧膜结构致密,而与透过液接触侧膜结构疏松,呈现倒喇叭口形状...

【技术特征摘要】

1.一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:包括依次相连的原水池、换热器(1)、超滤水箱(2)、两级反渗透系统(3)、uv杀菌装置(4)、一级脱气膜(5)、edi装置(6)、超纯水氮封水箱(7)、toc-uv系统(8)、二级脱气膜(9)、抛光混床(10)和终端两级精密过滤器(11);所述换热器(1)和超滤水箱(2)之间设置有外压式超滤膜系统用于液体分离和过滤处理。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:所述外压式超滤膜系统内设置有超滤膜丝,所述超滤膜丝具有完全不对称结构,与进水接触的一侧膜结构致密,而与透过液接触侧膜结构疏松,呈现倒喇叭口形状。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:所述两级反渗透系统(3)包括一级反渗透系统和二级反渗透系统,一级反渗透系统和二级反渗透系统依次连接。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅行业的超纯水处理系统,其特征在于:所述一级反渗透系统内设置有一级...

【专利技术属性】
技术研发人员:张春谢婷婷郝蕴蔡帅
申请(专利权)人:中电环保股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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