一种天车自动示教系统及方法技术方案

本发明专利技术提出一种天车自动示教系统及方法，信息采集设备部署于天车的升降台的产品抓手内；天车用于沿示教指令对应的目标路线行驶，其中，示教指令包括n个目标机台，n≥1；当天车行驶至第i个目标机台对应的第i目标位置时，天车用于控制升降台向第i个目标机台移动；信息采集设备用于在其与第i个目标机台接触时，向天车发送已触达信号；天车用于在获取到已触达信号时，获取移动过程中升降台的下降高度，将下降高度作为第i个目标机台对应的升降轴示教值。以信息采集设备替代晶圆盒，采集搬运过程中的升降台的下降高度等信息，作为机台对应的升降轴示教值，不需要进行人工测量，从而提升示教的效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆加工设备领域，具体而言，涉及一种天车自动示教系统及方法。

技术介绍

1、随着半导体行业的不断发展，制造商面临着提高生产效率和降低成本的挑战。空中悬挂式无人搬送天车（overhead hoist transport，简称oht或天车，又称为空中运输装置）是一种广泛应用于半导体生产线中自动搬运晶圆盒的装置。通过天车自动搬运可以提高物料运输效率，降低人力成本和减少污染风险，从而在很大程度上改善了整体生产流程。

2、在半导体工厂中，天车在工艺机台作业需要先进行示教调试，才能投入生产使用，如果采用传统的人工示教方法，对于成百上千的机台，需要投入大量的人力，耗费很长的时间。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种天车自动示教系统及方法，以至少部分改善上述问题。

2、为了实现上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案如下：

3、第一方面，本专利技术实施例提供一种天车自动示教系统，所述天车自动示教系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种天车自动示教系统，其特征在于，所述天车自动示教系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内；

2.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述目标机台的顶部设置有机台中心标识；

4.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，

5.如权利要求4所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述目标机台的顶部设置有机台中心标识；

6.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述信息采集设备的底部设置有接触传感器，所述信息采集设...

【技术特征摘要】

1.一种天车自动示教系统，其特征在于，所述天车自动示教系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内；

2.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，

3.如权利要求2所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述目标机台的顶部设置有机台中心标识；

4.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，

5.如权利要求4所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述目标机台的顶部设置有机台中心标识；

6.如权利要求1所述的天车自动示教系统，其特征在于，所述信息采集设备的底部设置有接触传感器，所述信息采集设备的接触传感器与第i个所述目标机台接触时，所述接触传感器生成已触达信号；

7.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱圣炜，顾鑫良，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：