【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉保温,尤其是涉及一种用于单晶炉底部保温的结构。
技术介绍
1、直拉单晶炉系统一般由加热器、保温筒、石墨电极、石墨托碗和石墨托杆组成。现有技术中,为了减少保温筒的热量损失,一般会在保温筒底部设置石墨软毡或固毡。受现有石墨软毡或固毡的结构特征影响,其保温性能较差,容易在长时间加热后粉化,丧失保温效果,此时需要技术人员及时更换,这会导致硅晶的生产成本提高且生产效率低下。
技术实现思路
1、本技术提供一种用于单晶炉底部保温的结构,用于提高单晶炉内保温筒底部保温结构的保温性能。
2、为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、一种用于单晶炉底部保温的结构,包括保温体,所述保温体设置有多个适应于预设单晶炉底部热场结构的通管;所述保温体内开设有空腔,所述空腔内填充有惰性气体。
4、通过上述技术方案,本技术结构采用惰性气体为单晶炉底部热场结构保温,由于惰性气体的导热系数远低于现有石墨软毡或保温体材质的导热系数,能够有效绝热,故本技术结构的保温性能更好
5、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,包括保温体(1),所述保温体(1)设置有多个适应于预设单晶炉底部热场结构的通管;所述保温体(1)内开设有空腔(11),所述空腔(11)内填充有惰性气体。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,所述通管包括中轴接入管(12)和多个电极接入管(13),所述中轴接入管(12)竖向设置于所述保温体(1)的中心,多个所述电极接入管(13)适应于预设单晶炉的石墨电极设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,所述保温体(1)竖向开设有连通预设导气筒的导体
...【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,包括保温体(1),所述保温体(1)设置有多个适应于预设单晶炉底部热场结构的通管;所述保温体(1)内开设有空腔(11),所述空腔(11)内填充有惰性气体。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,所述通管包括中轴接入管(12)和多个电极接入管(13),所述中轴接入管(12)竖向设置于所述保温体(1)的中心,多个所述电极接入管(13)适应于预设单晶炉的石墨电极设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉底部保温的结构,其特征在于,所述保温体(1)竖向开设有连通预设导气筒的导体筒孔(14),所述导体筒孔(14)连通所述空腔(11)。
4.根据权利要求3所述的一种用于单晶炉底部保温的结构...
【专利技术属性】
技术研发人员:马建强,马腾飞,汪奇,罗臻,
申请(专利权)人:青海高景太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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