【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种框架一体型掩模及框架一体型掩模的制造方法,更具体地,涉及一种能够将掩模与框架形成一体且准确地进行各掩模间的对齐(alignment)的框架一体型掩模及框架一体型掩模的制造方法。
技术介绍
1、最近,在薄板制造中针对电铸(electroforming)方法的研究正在持续地进行。电铸方法通过将阳极、阴极浸渍于电解液中,并施加电源而使金属薄板电沉积于阴极的表面上,因此是一种能够制造极薄板并有望量产的方法。
2、另一方面,作为在oled工艺中形成像素的技术,主要使用fmm(fine metal mask,精密金属掩模)方法,其通过将薄膜的金属掩模(阴影掩模,shadow mask)紧贴到基板上,从而将有机物蒸镀到所需位置上。
3、在现有的oled制造工艺中,以棒状、板状等制造掩模后,将掩模焊接固定到oled像素蒸镀框架上并使用。一个掩模可具有对应于一个显示器的多个单元。另外,为了制造大面积oled,可将多个掩模固定到oled像素蒸镀框架,然而,在固定到框架上的过程中,会通过拉伸使各掩模变得平坦。为了使掩
...【技术保护点】
1.一种框架一体型掩模,其由多个掩模与用于支撑掩模的框架一体形成,其中,
2.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
3.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
4.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
5.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
6.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
7.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
8.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
9.一种框架一体型掩模的制造方法,所述框架一体型掩模由多个掩模与用于支撑掩模的框架
...【技术特征摘要】
1.一种框架一体型掩模,其由多个掩模与用于支撑掩模的框架一体形成,其中,
2.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
3.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
4.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,
5.如权利要求1所述的框架一体型掩模,其中,<...
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