【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及柔性发光材料蒸发，尤其涉及一种大面积蒸发舟。
技术介绍
1、在oled（organic light-emitting diode，有机发光二极管）制造过程中，会涉及到成千上万道工序。而oled 的基板镀膜工序就是成千上万道工序中的一种。在oled的基板镀膜过程中，会借助到蒸发舟对置于蒸发舟上的蒸发材料进行加热蒸发，使蒸发材料受热产生蒸镀物质并镀于柔性基板上。随着oled的尺寸不断地增大，需要在较大面积的柔性基板上蒸镀蒸发材料。由于传统的蒸发舟的尺寸较小，不再适用于大尺寸oled的生产。将传统的蒸发舟的尺寸按比例增大后，蒸发皿的各部位易受热不均，严重影响镀膜质量。因此，如何使得较大尺寸的蒸发皿的各部位受热均匀成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种大面积蒸发舟，用以解决如何使得较大尺寸的蒸发皿的各部位受热均匀的问题。
2、一方面，本专利技术提供一种大面积蒸发舟，包括：
3、蒸发皿，顶部形成有入料口，内部形成有蒸发材料盛装腔；
4、加热部，安装于蒸发皿的底部，用于加热蒸发皿；
5、均温部，安装于加热部的顶面与蒸发皿的底面之间，以使蒸发皿底端的各部位均匀受热。
6、在其中一些实施例中，均温部为实心结构的均温板。
7、在其中一些实施例中，均温板的顶面与蒸发皿的底面之间设置有第一导热硅脂层。
8、在其中一些实施例中，均温部内的底部形成有受热腔，顶部形成有传热腔
9、在其中一些实施例中，气体扩散通道为拉瓦尔流道。
10、在其中一些实施例中，加热部包括：
11、电加热件；
12、绝缘导热壳，包覆于电加热件外，顶面与均温部的底面相接触。
13、在其中一些实施例中，绝缘导热壳的顶面与均温部的底面之间设置有第二导热硅脂层。
14、在其中一些实施例中，还包括：
15、测温探头，嵌设于均温部的内部或嵌设于蒸发皿的底部。
16、在其中一些实施例中，蒸发皿的侧壁的内部形成有隔热腔。
17、在其中一些实施例中，蒸发皿的底面的面积大于300cm2，顶面与底面之间的间距小于10cm。
18、本专利技术的有益效果如下：本专利技术的大面积蒸发舟通过设置蒸发皿、加热部和均温部，通过入料口能够向蒸发材料盛装腔内添加蒸发材料。加热部安装于蒸发皿的底部，用于加热蒸发皿，以使蒸发材料受热产生蒸镀物质并镀于大尺寸的柔性基板上。均温部安装于加热部的顶面与蒸发皿的底面之间，以使蒸发皿的底端的各部位均匀受热，保障了蒸发皿上方各区域的蒸汽密度相同，进而有利于改善镀膜质量。
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1.一种大面积蒸发舟，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温部为实心结构的均温板。
3.根据权利要求2所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温板的顶面与所述蒸发皿的底面之间设置有第一导热硅脂层。
4.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温部内的底部形成有受热腔，顶部形成有传热腔，中部形成有分别与所述受热腔、所述传热腔相连通的气体扩散通道，边缘形成有分别与所述受热腔、所述传热腔相连通的液体回流通道；所述受热腔内设置有储液垫；所述储液垫内储存有能够发生相变的液态介质。
5.根据权利要求4所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述气体扩散通道为拉瓦尔流道。
6.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述加热部包括：
7.根据权利要求6所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述绝缘导热壳的顶面与所述均温部的底面之间设置有第二导热硅脂层。
8.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在
10.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述蒸发皿的底面的面积大于300cm2，顶面与底面之间的间距小于10cm。
...【技术特征摘要】
1.一种大面积蒸发舟，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温部为实心结构的均温板。
3.根据权利要求2所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温板的顶面与所述蒸发皿的底面之间设置有第一导热硅脂层。
4.根据权利要求1所述的大面积蒸发舟，其特征在于，所述均温部内的底部形成有受热腔，顶部形成有传热腔，中部形成有分别与所述受热腔、所述传热腔相连通的气体扩散通道，边缘形成有分别与所述受热腔、所述传热腔相连通的液体回流通道；所述受热腔内设置有储液垫；所述储液垫内储存有能够发生相变的液态介质。
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥林，杨少延，石超，崔草香，李成明，朱瑞平，陈兆显，郭柏君，
申请(专利权)人：国鲸合创青岛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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