一种全桥式半导体应变片制造技术

一种成本较低的全桥式半导体应变片，包括，其包括:半导体层，包括分别地位于一参考点之左右两侧的第四焊盘基础和第三焊盘基础、位于第四焊盘基础左上方一侧的第一焊盘基础以及位于第三焊盘基础右上方一侧的第二焊盘基础；位于参考点左上方且两端分别延伸于第一焊盘基础和第四焊盘基础的第一桥臂电阻，位于参考点右上方且两端分别延伸至第三焊盘基础和第二焊盘基础的第三桥臂电阻，位于参考点下方且两端分别延伸至第四焊盘基础和第三焊盘基础的第四桥臂电阻，以及位于参考点下方且两端分别延伸至第一焊盘基础和第二焊盘基础的第二桥臂电阻；附接于半导体层前侧表面的金属层；第二桥臂电阻从下侧包围第四桥臂电阻。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及传感器，具体涉及一种全桥式半导体应变片。

技术介绍

1、如图1所示，惠斯通电桥通常用于信号测量，其包括首尾顺次连接的四个电阻r1～r4，其分别设置在惠斯通电阻的四个桥臂上。其中，至少r1和r3为可变电阻，r2和r4为固定电阻或可变电阻，在其四个连接处(即对应的焊点或焊盘p1～p4)的电势分别为v1、vd、v2及vc,其中可以vd为接地端，以vc-vd为输入电压，v2-v2为输出电压。为了保证输出电压的线性变化，r1与r3相等，r2与r4相等，此时，假设r1/r2＝r3/r4＝k，则：

2、

3、若要使当始初始输出为零时，则k的初始值应为1，即r1～r4的初始值均相同。

4、对于力或压强的测量，应变片被广泛使用，其也称为电阻应变片，其通过外形片状的电阻作为桥臂电阻应变片电阻组成上述的惠斯通电桥进行测量。对于电阻应变片而言，其可被制作为四个四分之一电阻应变片，即每个应变片仅含有一个桥臂电阻，为增大阻值桥臂电阻多为蜿蜒状，两端各设一个焊盘，以与电路组件连接。

5、更多地，惠斯通电桥被制作为两个半桥应变片，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全桥式半导体应变片，包括，其特征在于，包括:

2.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述多条纵线等距设置。

3.根据权利要求2所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述电阻条宽度相同。

4.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述第一桥臂电阻(R1)和所述第三桥臂电阻(R3)左右对称设置。

5.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，每个桥臂电阻(R1～R4)的电阻条总长度与其他桥臂电阻的电阻条总长度相同。

6.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述四个桥臂...

【技术特征摘要】

1.一种全桥式半导体应变片，包括，其特征在于，包括:

2.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述多条纵线等距设置。

3.根据权利要求2所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述电阻条宽度相同。

4.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述第一桥臂电阻(r1)和所述第三桥臂电阻(r3)左右对称设置。

5.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，每个桥臂电阻(r1～r4)的电阻条总长度与其他桥臂电阻的电阻条总长度相同。

6.根据权利要求1所述的全桥式半导体应变片，其特征在于，所述四个桥臂电阻(r1～r4)各包括四个电阻条及连接相邻的每两个电阻条之间的三个横向连接部，这四个电阻条在三个横向连接部处形成"u"形弯。

【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，李凡亮，吴林，吴登峰，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：