【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测，具体涉及一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法。
技术介绍
1、随着科学与技术的进一步发展，特别是深空探测等领域的发展，科学研究对光学系统成像分辨率和成像质量的要求越来越高，对视场角的要求也越来越大，相应的诸如望远镜，空间相机等光学系统的口径日益增大，光学整机的重量也随之变大。非球面光学元件由于具有可以简化光学系统结构，优化系统像差，提高系统成像质量等优点，已经被广泛应用于目前的离轴式光学系统设计中。
2、非球面面形误差的测量方法一般包括三坐标测量，环状子孔径法，cgh补偿器反射光路测量等。然而三坐标测量方法测量精度在微米量级，无法满足纳米级面形精度需求，环状子孔径法和cgh（计算全息图）补偿器反射光路测量适用于普通非球面镜的测量。鸥翼型非球面是一类特殊的回转对称型高次非球面，其母线的曲率方向会发生反转，即存在凹凸性改变的拐点，形如鸥翼。由于这类元件的面形方程较为特殊，传统的零位干涉检测光路会发生光线相交重叠，导致条纹无法解析，故目前鲜有测量手段能够满足全口径高精度测量的需求。国防科技大学提...
【技术保护点】
1.一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述第一对准全息（21）和第二对准全息（22）位于辅助全息（23）的外围，所述测试全息（24）位于辅助全息（23）的中部。
3.根据权利要求2所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述辅助全息（23）呈环形。
4.根据权利要求3所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述测试全息（24）呈圆形。
5.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述第一对准全息（21）和第二对准全息（22）位于辅助全息（23）的外围，所述测试全息（24）位于辅助全息（23）的中部。
3.根据权利要求2所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述辅助全息（23）呈环形。
4.根据权利要求3所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述测试全息（24）呈圆形。
5.根据权利要求4所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：所述第一对准全息（21）和第二对准全息（22）呈弧形、且以辅助全息（23）的中心对称布置。
6.根据权利要求5所述的鸥翼型非球面平凸透镜反衍混合补偿干涉检测方法，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：翟德德，石峰，曹红兵，田野，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。