【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆搬运，尤其涉及一种搬运夹持装置及生产线。
技术介绍
1、在晶圆的生产过程中，需要利用搬运机械手实现晶圆在各个工序之间或工序内部进行位置转移。一般地，搬运机械手采用真空吸附的方式对晶圆进行吸取，从而实现晶圆的搬运。但是真空吸附的方式只能接触式吸附晶圆背面，并且翻转时会有掉片的风险。
技术实现思路
1、本申请提供了一种搬运夹持装置及生产线，以解决为现有晶圆搬运只能吸附晶圆的背面，并且翻转时会有掉片风险的问题。
2、第一方面，本申请提供了一种搬运夹持装置，包括：
3、丫叉主体，包括相连接的主体部和丫叉部，所述丫叉部间隔设置有两个，所述丫叉部具有吸附面；
4、两组气路组件，所述气路组件包括顺次连通的通气管、气管接头以及气路通路，两个所述气路通路分别形成于两个所述丫叉部上，所述通气管远离所述气管接头的一端连通气源，所述气路通路上连通有多个增速导流件，所述增速导流件通过所述吸附面向外界吹出高速气流；以及
5、夹持机构，设置于所述主体部上，所述夹持机构包括驱动件，所述驱动件的驱动端通过传动组件连接两个夹持臂，两所述夹持臂朝向相互靠近或远离的方向运动且与所述吸附面间隔设置。
6、在一种可能的实现方式中，所述传动组件包括移动块，所述移动块与所述驱动件的驱动端连接，且沿第一方向往复移动，所述夹持臂的中部转动设置于所述丫叉主体上，所述夹持臂的受力端与所述移动块相连接或抵接配合。
7、在一种可能的实现方式中，所述传动组件
8、在一种可能的实现方式中，所述传递臂包括相连接的传递主体和两个传递分体，所述传递主体与所述移动块连接，两个所述传递分体分别与两个所述丫叉部配合，所述丫叉部上设置有导向片，所述传递分体上形成有与所述导向片配合的导向槽。
9、在一种可能的实现方式中，所述传递分体远离所述传递主体的一端设置有反向接触块，所述反向接触块呈凸台结构设置。
10、在一种可能的实现方式中，所述主体部上沿所述移动块的移动方向间隔设置有第一限位块和第二限位块。
11、在一种可能的实现方式中，所述主体部上还设置有两个限位感应器，两所述限位感应器分别位于移动块的相对两侧，所述移动块上还设置有两个感应器片，两所述感应器片分别用于与两所述限位感应器感应配合。
12、在一种可能的实现方式中，所述增速导流件包括相配合的气流导向块和气流增速块，所述气流增速块用于提升气流速度，所述气流导向块用于对气流进行导向。
13、在一种可能的实现方式中，所述主体部上盖合有外罩，所述夹持机构位于所述外罩内部，所述夹持臂的夹持端突出所述外罩设置。
14、第二方面，本申请提供了一种生产线，包括如第一方面所述的搬运夹持装置。
15、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：
16、本实施例所提供的搬运夹持装置及生产线，丫叉部的吸附面用于吸附晶圆，具体地，丫叉部的吸附面位于晶圆的上方，气源依次通过通气管、气管接头、气路通路流通至增速导流件，并通过吸附面气流流出，经过增速导流件流出的气流流速快，根据伯努利远离可知，流速越快压强越小，晶圆在外界大气压的作用下被丫叉部吸附起来，且丫叉部的吸附面与晶圆之间存在一定的吸附间隙，保障丫叉部可以对晶圆进行搬运且不会接触到晶圆的表面。通过这种方式，丫叉部对晶圆的正面和背面均可以进行吸附，解决了接触式吸附只能吸附晶圆背面的问题。此外，通过驱动件控制两个夹持臂的同步运动，在两个夹持臂相互靠近时可以对晶圆的周侧进行夹持，在两个夹持臂相互远离时可以松开晶圆，在气源断开的情况下，还可以保障晶圆不会掉落。
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1.一种搬运夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件包括移动块，所述移动块与所述驱动件的驱动端连接，且沿第一方向往复移动，所述夹持臂的中部转动设置于所述丫叉主体上，所述夹持臂的受力端与所述移动块相连接或抵接配合。
3.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件还包括连接于所述移动块上的传递臂，所述传递臂上转动且间隔设置有两个传动轮，所述夹持臂的受力端开设有的传动孔，两所述传动孔分别套设于两所述传动轮上。
4.根据权利要求3所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递臂包括相连接的传递主体和两个传递分体，所述传递主体与所述移动块连接，两个所述传递分体分别与两个所述丫叉部配合，所述丫叉部上设置有导向片，所述传递分体上形成有与所述导向片配合的导向槽。
5.根据权利要求4所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递分体远离所述传递主体的一端设置有反向接触块，所述反向接触块呈凸台结构设置。
6.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述主体部上沿所述移动块的移动方
7.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述主体部上还设置有两个限位感应器，两所述限位感应器分别位于移动块的相对两侧，所述移动块上还设置有两个感应器片，两所述感应器片分别用于与两所述限位感应器感应配合。
8.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述增速导流件包括相配合的气流导向块和气流增速块，所述气流增速块用于提升气流速度，所述气流导向块用于对气流进行导向。
9.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述主体部上盖合有外罩，所述夹持机构位于所述外罩内部，所述夹持臂的夹持端突出所述外罩设置。
10.一种生产线，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的搬运夹持装置。
...【技术特征摘要】
1.一种搬运夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件包括移动块，所述移动块与所述驱动件的驱动端连接，且沿第一方向往复移动，所述夹持臂的中部转动设置于所述丫叉主体上，所述夹持臂的受力端与所述移动块相连接或抵接配合。
3.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件还包括连接于所述移动块上的传递臂，所述传递臂上转动且间隔设置有两个传动轮，所述夹持臂的受力端开设有的传动孔，两所述传动孔分别套设于两所述传动轮上。
4.根据权利要求3所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递臂包括相连接的传递主体和两个传递分体，所述传递主体与所述移动块连接，两个所述传递分体分别与两个所述丫叉部配合，所述丫叉部上设置有导向片，所述传递分体上形成有与所述导向片配合的导向槽。
5.根据权利要求4所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递分体远离所述传递...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴宗钊，杨剑，雷榕骅，
申请(专利权)人：深圳中科精工科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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