【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆搬运，尤其涉及一种搬运夹持装置及生产线。
技术介绍
1、在晶圆的生产过程中，需要利用搬运机械手实现晶圆在各个工序之间或工序内部进行位置转移。一般地，搬运机械手采用真空吸附的方式对晶圆进行吸取，从而实现晶圆的搬运。但是真空吸附的方式只能接触式吸附晶圆背面，并且翻转时会有掉片的风险。
技术实现思路
1、本申请提供了一种搬运夹持装置及生产线，以解决为现有晶圆搬运只能吸附晶圆的背面，并且翻转时会有掉片风险的问题。
2、第一方面，本申请提供了一种搬运夹持装置，包括：
3、丫叉主体，包括相连接的主体部和丫叉部，所述丫叉部间隔设置有两个，所述丫叉部具有吸附面；
4、两组气路组件，所述气路组件包括顺次连通的通气管、气管接头以及气路通路，两个所述气路通路分别形成于两个所述丫叉部上，所述通气管远离所述气管接头的一端连通气源，所述气路通路上连通有多个增速导流件，所述增速导流件通过所述吸附面向外界吹出高速气流；以及
5、夹持机构，设置于所述主体部上，所...
【技术保护点】
1.一种搬运夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件包括移动块，所述移动块与所述驱动件的驱动端连接，且沿第一方向往复移动，所述夹持臂的中部转动设置于所述丫叉主体上，所述夹持臂的受力端与所述移动块相连接或抵接配合。
3.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件还包括连接于所述移动块上的传递臂，所述传递臂上转动且间隔设置有两个传动轮，所述夹持臂的受力端开设有的传动孔，两所述传动孔分别套设于两所述传动轮上。
4.根据权利要求3所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递臂包...
【技术特征摘要】
1.一种搬运夹持装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件包括移动块，所述移动块与所述驱动件的驱动端连接，且沿第一方向往复移动，所述夹持臂的中部转动设置于所述丫叉主体上，所述夹持臂的受力端与所述移动块相连接或抵接配合。
3.根据权利要求2所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传动组件还包括连接于所述移动块上的传递臂，所述传递臂上转动且间隔设置有两个传动轮，所述夹持臂的受力端开设有的传动孔，两所述传动孔分别套设于两所述传动轮上。
4.根据权利要求3所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递臂包括相连接的传递主体和两个传递分体，所述传递主体与所述移动块连接，两个所述传递分体分别与两个所述丫叉部配合，所述丫叉部上设置有导向片，所述传递分体上形成有与所述导向片配合的导向槽。
5.根据权利要求4所述的搬运夹持装置，其特征在于，所述传递分体远离所述传递...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴宗钊，杨剑，雷榕骅，
申请(专利权)人：深圳中科精工科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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