一种混合集成中红外锁模量子级联激光器制造技术

本发明专利技术公开一种混合集成中红外锁模量子级联激光器，包括第一芯片、第二芯片和基板热沉，所述第一芯片和第二芯片混合集成于所述基板热沉上，所述第一芯片与所述第二芯片耦合工作；所述第一芯片包含增益区和调制区，所述增益区被配置为在直流电驱动下以第一芯片的两端端面作为谐振腔，产生大功率中红外激光，所述调制区被配置为在射频驱动下对激光器的增益进行调制，产生主动锁模效果；所述第二芯片包含高Q腔，所述高Q腔的模式频率间隔与所述第一芯片的模式频率间隔一致。本发明专利技术能够提高主动锁模量子级联激光器的锁模稳定性，压缩脉冲宽度，具有集成度高、光谱覆盖范围宽的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器，尤其涉及一种混合集成中红外锁模量子级联激光器。

技术介绍

1、飞秒脉冲激光是一种特殊的激光状态，具有超短持续时间、超高瞬时功率、超宽带梳状光谱及超高频率稳定性的特点。现有绝大部分飞秒脉冲激光器的输出波长为可见光和近红外；中红外飞秒脉冲激光器，要么体积庞大集成度低，要么波长覆盖有限，应用受限。量子级联激光器是目前最为理想的中红外半导体激光器，波长能够覆盖整个中远红外波段，基于量子级联激光器，有望实现高集成度、宽波长覆盖范围的中红外飞秒脉冲激光。

2、飞秒脉冲激光的产生通常依靠锁模激光器来实现。然而，由于超快(ps量级)的增益恢复速率，量子级联激光器无法实现最为成熟的被动锁模，且主动锁模难度大，锁模稳定性差。因此，锁模量子级联激光器所产生的激光脉冲的脉宽较大，无法实现飞秒级脉冲激光产生。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种混合集成中红外锁模量子级联激光器，通过将量子级联激光器与无源高q腔锁定，结合主动锁模，能够提高锁模稳定性，压缩锁模脉冲宽度，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，包括第一芯片、第二芯片和基板热沉，所述第一芯片和第二芯片混合集成于所述基板热沉上，所述第一芯片与所述第二芯片耦合工作；

2.根据权利要求1所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述第一芯片是片上集成的主动锁模中红外量子级联激光器芯片，所述调制区被配置为实现GHz量级的高速射频调制。

3.根据权利要求2所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述调制区的电极为拍形电极。

4.根据权利要求1所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述第一芯片包括依次设置的第一衬底、...

【技术特征摘要】

1.一种混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，包括第一芯片、第二芯片和基板热沉，所述第一芯片和第二芯片混合集成于所述基板热沉上，所述第一芯片与所述第二芯片耦合工作；

2.根据权利要求1所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述第一芯片是片上集成的主动锁模中红外量子级联激光器芯片，所述调制区被配置为实现ghz量级的高速射频调制。

3.根据权利要求2所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述调制区的电极为拍形电极。

4.根据权利要求1所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述第一芯片包括依次设置的第一衬底、下波导层、第一光波导芯层和上波导层，所述衬底设于所述基板热沉上，所述增益区和所述调制区并排设于所述上波导层，

5.根据权利要求4所述的混合集成中红外锁模量子级联激光器，其特征在于，所述第二芯片包括依次设置的第二衬底、下包层、第二光波导芯层、上包层和电极层，所述第二衬底设于所述基板热沉上，所述电极层包...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雪娣，卢翠翠，王若彤，
申请(专利权)人：苏州芯晟半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：