【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气体探测，具体涉及一种带绝缘凸起结构的气体传感器。
技术介绍
1、基于半导体纳米材料电阻变化的半导体气体传感器是气体传感及探测的重要分支。当目标气体分子接触到气敏材料表面时，会发生吸附和反应，导致气敏材料的电阻发生变化。通过电极检测到的电阻变化可反映了气体浓度，从而实现气体检测。
2、由于纳米材料具有非常高的比表面积，使得更多的气体分子能够与材料表面接触，提高气体吸附效率和传感灵敏度。纳米材料的尺寸小，也使得气体能够快速扩散到传感材料内部并迅速解吸，缩短了传感器的响应和恢复时间。另外，通过表面修饰或复合其他材料，可以提高对特定气体的选择性。由于以上优点，基于半导体纳米材料电阻变化的半导体气体传感器在环境监测、工业安全、医疗检测等多个领域具有广泛的应用前景。
3、由于基于纳米材料电阻变化的半导体气体传感器具有广泛的应用前景，研究者在气敏材料研究方面做出了大量工作。在材料成分方面，研究者研究了：（1）金属氧化物半导体的气敏特性，其中包括氧化锡、氧化锌、氧化钛、氧化钨、氧化铟等的气敏特性；（2）金属硫化物半导...
【技术保护点】
1.一种带绝缘凸起结构的气体传感器，包括基底、叉指电极、气敏材料，所述叉指电极置于所述基底上，所述叉指电极包括多个电极指，所述气敏材料置于所述叉指电极上，其特征在于，还包括凸起，所述凸起为绝缘材料，所述凸起为多个，所述凸起置于所述基底上相邻所述电极指之间。
2.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起为条形，所述凸起平行于所述电极指。
3.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起不与相邻的所述电极指接触。
4.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起高于所
<...【技术特征摘要】
1.一种带绝缘凸起结构的气体传感器，包括基底、叉指电极、气敏材料，所述叉指电极置于所述基底上，所述叉指电极包括多个电极指，所述气敏材料置于所述叉指电极上，其特征在于，还包括凸起，所述凸起为绝缘材料，所述凸起为多个，所述凸起置于所述基底上相邻所述电极指之间。
2.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起为条形，所述凸起平行于所述电极指。
3.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起不与相邻的所述电极指接触。
4.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起高于所述电极指。
5.如权利要求1所述的带绝缘凸起结构的气体传感器，其特征在于：所述凸起的截面为梯形，所述凸起与所述基底接触的底边长...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨健君，高磊，杨金明，易子川，刘黎明，
申请(专利权)人：电子科技大学中山学院，
类型：发明
国别省市：
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