【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电子及激光,更具体地,涉及一种激光束时空动态整形装置及方法。
技术介绍
1、在传统的激光加工中,多采用高斯型激光光束,对加工材料进行连续或脉冲加工。高斯光束中心能量高,四周能量低,在加工中将导致热烧蚀不均匀,从而引起加工质量差、热影响严重等问题。同时,连续型激光加工会加重激光热效应影响,引起材料性能恶化;而传统脉冲加工只能简单地控制激光在时间上的通断,难以适应新型的多形状复合脉冲激光加工需求。
2、随着精密加工、特种材料加工等加工产业的发展,激光加工对激光光束或脉冲的空间分布与时间分布均有更多要求,例如对于不同的材料或加工图案,需要采用平顶匀化光斑、空心光斑、矩形光斑等不同的光斑形状;在新型复合脉冲激光工艺中,往往需要多种能量、形状的光斑在时间维度上按顺序排列,形成一组脉冲串加工在目标材料上。此类对激光形状、能量在空间与时间上变换的器件称为光束整形器,激光光束整形器已成为激光精密加工中光场调控的核心器件。
3、激光光束空间整形器的主要作用是将一束能量/功率较高的高斯激光在空间形状上进行能量重新分配
...【技术保护点】
1.一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,包括依次设置的电光调制单元(1)、偏振分光单元(2)、反射单元和偏振合束单元(5);
2.根据权利要求1所述的一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,所述第一反射组件包括第一反射镜(3.1)和第二反射镜(3.2),所述第一反射镜(3.1)设置于所述偏振分光单元(2)的第一激光光束出射方向,所述第二反射镜(3.2)设置于所述偏振合束单元(5)的第一激光光束入射方向。
3.根据权利要求2所述的一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,所述第二反射组件包括沿第二激光束传播方向依次设置的第三反射镜(3.3)、第
...【技术特征摘要】
1.一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,包括依次设置的电光调制单元(1)、偏振分光单元(2)、反射单元和偏振合束单元(5);
2.根据权利要求1所述的一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,所述第一反射组件包括第一反射镜(3.1)和第二反射镜(3.2),所述第一反射镜(3.1)设置于所述偏振分光单元(2)的第一激光光束出射方向,所述第二反射镜(3.2)设置于所述偏振合束单元(5)的第一激光光束入射方向。
3.根据权利要求2所述的一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,所述第二反射组件包括沿第二激光束传播方向依次设置的第三反射镜(3.3)、第四反射镜(3.4)、第五反射镜(3.5)和第六反射镜(3.6);所述第三反射镜(3.3)和所述第六反射镜(3.6)构成第一反射单元,所述第四反射镜(3.4)和所述第五反射镜(3.5)构成第二反射单元,所述第二反射单元距所述第一反射单元的距离可调。
4.根据权利要求2所述的一种激光束时空动态整形装置,其特征在于,所述第二反射组件包括沿第二激光束传播方向依次设置的第七反射镜(3.7)、第八反射镜(3.8)和反射棱镜(3.9);所述第七反射镜(3.7)和所述第八反射镜(...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱广志,孙圣开,李茁芸,徐谱昌,王海林,朱晓,
申请(专利权)人:华中科技大学,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。