一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法技术

技术编号:42646139 阅读:31 留言:0更新日期:2024-09-06 01:41
本发明专利技术公开了一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,涉及电子绝缘材料技术领域,制备方法包括的步骤有:在氧化铝基板上沉积铂电阻层;将铂电阻层刻蚀成所需要的图案;将刻蚀的图案在空气中退火,使图案层致密;进行激光调阻;配制绝缘隔离层浆液,采用浸渍提拉的方式在基板上涂覆绝缘隔离层浆液;绝缘隔离层浆液涂覆完毕之后,在空气中进行烧结。采用浸渍提拉的方法将绝缘隔离层浆液涂覆在沉积有铂电阻层的氧化铝基板上,一方面实现了对沉积有铂电阻层的氧化铝基板的绝缘保护,另一方面采用浸渍提拉的方式涂层绝缘隔离层,不会产生径向生长取向,且不会出现孔隙和裂纹,稳定性好,制备效率高,同时绝缘隔离层的厚度可控。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及绝缘材料,具体涉及一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法


技术介绍

1、在温度传感器中,设置隔离层以防止电阻层中毒污染是众所周知的,例如,在温度传感器的铂图案上使用pvd或者厚膜方法来涂覆绝缘隔离层,但是,以这种方式涂覆的钝化层并不能完全阻止毒性污染。

2、在pvd方法中,将绝缘隔离材料,尤其是氧化铝材料(al2o3)转化成气相,然后在电阻图案的表明冷凝为膜,采用这种方式,不仅材料的相状态是缺点,而且涂层也会发生取向生长。例如,所使用的氧化铝是以γ相存在,γ相在升温过程中转化成稳定的α相,γ相向α相转变可发生约8%的体积收缩,同时由于涂层是径向的取向生长,会加剧此类体积收缩在所涂覆的绝缘隔离中产生裂纹,尤其是图案的线条与沟槽连接处容易开裂。

3、在厚膜丝网印刷方法中,包含氧化铝的浆料被印刷在电阻图案的表面上,通过排胶过程之后,在1000℃至1500℃的温度下烧结氧化铝,即使通过调配粒子的尺寸以达成高固含量高密度的浆料,氧化铝涂层在烧结后仍含有孔隙和缺陷。

4、为了密封通过上述方法而制造的绝缘隔离层,已知的是另本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,浸渍提拉涂覆绝缘隔离层浆液时的提拉速度为50μm/s ~5000μm/s。

3.根据权利要求1所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,浸渍提拉的次数至少为一次;在需要多次浸渍提拉时,上一次浸渍提拉之后需要完全烘干后才能进行下一次浸渍提拉。

4.根据权利要求3所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,烘干的温度为75℃~300℃。

5.根据权利要求3所述的一种温度传感器绝缘隔离层...

【技术特征摘要】

1.一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,浸渍提拉涂覆绝缘隔离层浆液时的提拉速度为50μm/s ~5000μm/s。

3.根据权利要求1所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,浸渍提拉的次数至少为一次;在需要多次浸渍提拉时,上一次浸渍提拉之后需要完全烘干后才能进行下一次浸渍提拉。

4.根据权利要求3所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,烘干的温度为75℃~300℃。

5.根据权利要求3所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,烘干的时间为10min~2h。

6.根据权利要求1所述的一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,在空气中烧结的温度为1000℃~...

【专利技术属性】
技术研发人员:高志禧雷运清彭琛张强
申请(专利权)人:成都能斯特新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1