【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及负离子测量，尤其涉及一种负离子测量电路和冷阴极电离规真空测量方法。
技术介绍
1、在真空测量领域，常规的冷阴极电离规驱动方案需要检测大跨度的负离子信号。以反磁控规信号为例，在1×10-7至1×10-1pa真空度范围内，采集电路需要测量几百pa至几百ua的负离子信号，电流大小跨越7个量级。常规采集方案使用线性跨阻放大电路，将全量程信号分档采集，存在信号分辨率低、换挡前后增益变换不稳定导致示值不连续，测量精度降低的问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种负离子测量电路及冷阴极电离规真空测量方法，以解决现有测量方案测量量程不连续，测量精度低的问题。
2、本专利技术通过下述技术方案实现：
3、本专利技术的第一方面，提供一种负离子测量电路，包括补偿电压产生电路、负离子放大电路、仪表放大器和输出电压调节电路；
4、所述补偿电压产生电路连接所述仪表放大器的负相输入端，用于为所述仪表放大器提供补偿电压信号；
5、所述负离子放大电路的输入端接...
【技术保护点】
1.一种负离子测量电路，其特征在于，包括补偿电压产生电路、负离子放大电路、仪表放大器和输出电压调节电路；
2.根据权利要求1 所述的负离子测量电路，其特征在于，所述补偿电压产生电路包括依次连接的电流源电路和第一三极管对数放大电路；
3.根据权利要求2所述的负离子测量电路，其特征在于，所述电流源电路包括隔离电压模块、基准电压芯片和第一输入电阻；
4.根据权利要求2所述的负离子测量电路，其特征在于，所述负离子放大电路包括依次连接的π滤波电路、第二输入电阻和第二三极管对数放大电路；
5.根据权利要求4所述的负离子测量电路，其特...
【技术特征摘要】
1.一种负离子测量电路，其特征在于，包括补偿电压产生电路、负离子放大电路、仪表放大器和输出电压调节电路；
2.根据权利要求1 所述的负离子测量电路，其特征在于，所述补偿电压产生电路包括依次连接的电流源电路和第一三极管对数放大电路；
3.根据权利要求2所述的负离子测量电路，其特征在于，所述电流源电路包括隔离电压模块、基准电压芯片和第一输入电阻；
4.根据权利要求2所述的负离子测量电路，其特征在于，所述负离子放大电路包括依次连接的π滤波电路、第二输入电阻和第二三极管对数放大电路；
5.根据权利要求4所述的负离子测量电路，其特征在于，所述第一三极管和所述第二三极管为对管。
6.根据权利要求1所述的负离子测量电路，其特征在于，所述输出电压调节电路包括依次连接的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王博成，王磊，刘立峰，杜春林，郭大维，
申请(专利权)人：成都睿宝电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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