热阴极真空规专用检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种热阴极真空规专用检测装置，包括单片机、信号采集处理电路模块、模拟真空规输出信号模块、模拟灯丝电路（负载）。本技术优点在于无须搭建真空环境即可实现对热阴极真空规驱动电路的检测，降低了检测成本，提高了检测效率。由MOS管Q1和采样电阻R3构成的恒流源，输出的恒定电流可以根据预设值保持恒定；因此，通过预设不同的电流负载下的运行情况（包括过载等异常情况）对热阴极真空规驱动电路进行检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及热阴极真空规，尤其是涉及一种热阴极真空规专用检测装置。

技术介绍

1、热阴极真空规驱动电路一般包含灯丝驱动电路、栅极直流电源电路、真空信号采集电路和真空保护电路。其中，真空信号采集电路将被测腔体内的真空信号传输到真空计上，经过放大处理后显示出被测真空环境的真空度。目前，对热阴极真空规驱动电路的检测必须搭建真空环境，如型号为mks series 335的热阴极真空规，其运行环境的真空压力规定必须低于5x10-5torr，否则就会损坏。因此，这就使得真空环境的搭建不仅增加了热阴极真空规的检测成本，而且也降低了热阴极真空规的检测效率。

技术实现思路

1、本技术目的在于提供一种热阴极真空规专用检测装置，无需搭建真空环境即可实现热阴极真空规驱动电路的检测。

2、为实现上述目的，本技术可采取下述技术方案：

3、本技术所述的热阴极真空规专用检测装置，包括单片机、信号采集处理电路模块、模拟真空规输出信号模块、模拟灯丝电路（负载）。

4、所述信号采集处理电路模块数据输入端分别与所述热阴极真空规驱动电路的栅极直流电源电路输出端、真空信号采集电路输出端连接，并与所述模拟灯丝电路输出端连接；模拟灯丝电路输入端与热阴极真空规驱动电路的灯丝驱动电路输出端连接。

5、信号采集处理电路模块对采集的栅极直流电源电路的电压信号进行降压、降噪处理后，与采集的模拟灯丝电路的驱动电压、电流信号同时输出给所述单片机。

6、单片机数据输入端分别与信号采集处理电路模块数据输出端、热阴极真空规驱动电路的真空保护电路输出端连接，单片机输出控制端与所述模拟真空规输出信号模块输入端连接，模拟真空规输出信号模块输出端与热阴极真空规驱动电路的真空信号采集电路输入端连接。

7、单片机将信号采集处理电路模块输出的电压、电流信号进行分析、判断，控制模拟真空规输出信号模块输出预设的模拟真空电信号给热阴极真空规驱动电路的真空信号采集电路；热阴极真空规驱动电路的真空信号采集电路将模拟真空电信号处理后输出相对应的真空电信号给信号采集处理电路模块，最终送入单片机，单片机通过与预设值进行对比，判断热阴极真空规驱动电路的真空信号采集电路是否异常。

8、可选择地，所述模拟灯丝电路包括集成运算放大器a和mos管q1；所述集成运算放大器a同相输入端经分压电阻r1与所述信号采集处理电路模块数据输入端连接，并经分压电阻r2接地；集成运算放大器a反相输入端与所述mos管q1源极s连接，集成运算放大器a输出端与mos管q1栅极g连接；mos管q1漏极d与所述热阴极真空规驱动电路的灯丝驱动电路输出端连接，mos管q1源极s经采样电阻r3接地。

9、本技术优点在于无须搭建真空环境即可实现对热阴极真空规驱动电路的检测，降低了检测成本，提高了检测效率。由mos管q1和采样电阻r3构成的恒流源，输出的恒定电流可以根据预设值保持恒定；因此，通过预设不同的电流负载下的运行情况（包括过载等异常情况）对热阴极真空规驱动电路进行检测。

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【技术保护点】

1.一种热阴极真空规专用检测装置，其特征是：包括单片机、信号采集处理电路模块、模拟真空规输出信号模块、模拟灯丝电路；

2.根据权利要求1所述的热阴极真空规专用检测装置，其特征是：所述模拟灯丝电路包括集成运算放大器A和MOS管Q1；所述集成运算放大器A同相输入端经分压电阻R1与所述信号采集处理电路模块数据输入端连接，并经分压电阻R2接地；集成运算放大器A反相输入端与所述MOS管Q1源极S连接，集成运算放大器A输出端与MOS管Q1栅极G连接；MOS管Q1漏极D与所述热阴极真空规驱动电路的灯丝驱动电路输出端连接，MOS管Q1源极S经采样电阻R3接地。

【技术特征摘要】

1.一种热阴极真空规专用检测装置，其特征是：包括单片机、信号采集处理电路模块、模拟真空规输出信号模块、模拟灯丝电路；

2.根据权利要求1所述的热阴极真空规专用检测装置，其特征是：所述模拟灯丝电路包括集成运算放大器a和mos管q1；所述集成运算放大器a同相输入端经分压电阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：林开妙，张坤，蔡克亚，
申请(专利权)人：安图实验仪器郑州有限公司，
类型：新型
国别省市：