【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜测试，具体涉及一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法及系统。
技术介绍
1、玻璃基板镀膜是指在玻璃表面上通过不同的化学或物理方法沉积一层或多层材料，镀膜的材料通常是由金属、氧化物、氟化物或其他化合物组成。对于镀膜，中波红外谱段光学薄膜膜层较厚，尤其是窄带滤光片等光谱指标要求较高的红外光学薄膜，通常厚度能达到几十微米。厚度较大的镀膜对于蒸发膜料的需求非常大，一次填料不能满足膜料用量需求，通常采用减小蒸发距离的方式提高膜料的利用率，其使得镀膜均匀性变差。然而，镀膜厚度的均匀性是决定镀膜玻璃性能的关键因素之一，厚度均匀性强的镀膜可以确保玻璃在不同区域具有一致的光学和物理性能，从而满足特定的应用需求。因此，需要进行玻璃基板镀膜厚度的均匀性检测。
2、目前，通常使用光学测量法直接检测镀膜厚度的均匀性，由于镀膜可能是多层且不同类型的，而镀膜的每一层子膜上不同位置的厚度不同，也就是每一层子膜的厚度存在一定的误差范围。若每镀一层子膜就采用光学测量法进行一次厚度均匀性检测，则可能将误差范围消除掉，出现虚假均匀的情况，子膜的层数越...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述根据所述透过光谱极值序列分析透过率差异，确定主体均匀聚类簇中每个光谱数据点的透过光谱极值序列内每个元素的透过基准权重，包括：
3.根据权利要求2所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述确定主体均匀聚类簇中每个光谱数据点的透过光谱极值序列内每个元素的透过基准权重，包括：
4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述利用所述透过基准权重进行加权求...
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述根据所述透过光谱极值序列分析透过率差异，确定主体均匀聚类簇中每个光谱数据点的透过光谱极值序列内每个元素的透过基准权重，包括：
3.根据权利要求2所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述确定主体均匀聚类簇中每个光谱数据点的透过光谱极值序列内每个元素的透过基准权重，包括：
4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述利用所述透过基准权重进行加权求和分析，确定每一层子膜的主体基准均匀序列，包括：
5.根据权利要求1所述的一种玻璃基板镀膜厚度均匀性检测方法，其特征在于，所述根...
【专利技术属性】
技术研发人员：李弋舟，陈曦，李振松，
申请(专利权)人：长沙韶光芯材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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