【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及产品检测，尤其涉及一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法、装置、系统、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、声学扫描显微镜(sam)是一种多功能的显微成像仪器,可以检测材料内部的晶格结构、杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等。声学扫描显微镜可以用于对未封装和封装后的半导体芯片进行可靠性检测。声学扫描显微镜上的探头(超声波换能器)的超声波频率越高，成像越清晰，穿透能力越差，那么根据这几点超声波的特性，不同器件进行超声波检查时，就需要选定相对适合的换能器，才可顺利的进行声扫试验。首先要考虑器件封装材料，器件封装材料密度与声阻抗相关，为了得到更清晰的图像，应选择频率较高的换能器，但由于超声波特性，频率越高穿透性越差，在遇到封装材料较厚的器件时，应适当降低换能器频率，选择低频穿透性更强的换能器。相关技术中，通过人工观察器件封装材质，并人工进行更换和安装，检测试验效率较低。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中存在的上述问题，本专利技术提供了一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法、装置、系统、电子设备及存储介质。本专利技术要解决的技术问题通过以下技术方案实现：
2、本专利技术实施例提供一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法，包括以下步骤：
3、通过图像采集设备获取待测器件表面的表面图像；
4、对所述表面图像进行图像识别，确定所述待测器件表面的封装材质的类型；
5、通过x射线检测设备检测所述待测器件，获取所述待测器件表面的
6、根据所述封装材质的类型和所述检测厚度确定目标超声波换能器；
7、根据所述目标超声波换能器的预设位置控制机械臂抓取所述目标超声波换能器并安装至声学扫描显微镜上。
8、在本专利技术的一个实施例中，对所述表面图像进行图像识别，确定所述待测器件表面的封装材质的类型，包括：
9、将表面图像输入图像识别神经网络，输出识别结果；其中，所述识别结果表征封装材质的类型。
10、在本专利技术的一个实施例中，所述根据所述封装材质的类型和检测厚度确定目标超声波换能器，包括：
11、根据所述封装材质的类型与目标选择厚度的对应关系确定目标选择厚度；
12、判断所述检测厚度是否大于所述目标选择厚度；
13、若小于，则确定第一类型的超声波换能器为目标超声波换能器；
14、若大于，则确定第二类型的超声波换能器为目标超声波换能器。
15、本专利技术实施例提供一种器件声扫试验的超声波换能器确定装置，包括：
16、第一获取模块，用于通过图像采集设备获取待测器件表面的表面图像；
17、识别模块，用于对所述表面图像进行图像识别，确定所述待测器件表面的封装材质的类型；
18、第二获取模块，用于通过x射线检测设备检测所述待测器件，获取所述待测器件表面的封装材质的检测厚度；
19、确定模块，用于根据所述封装材质的类型和所述检测厚度确定目标超声波换能器；
20、控制模块，用于据所述目标超声波换能器的预设位置控制机械臂抓取所述目标超声波换能器并安装至声学扫描显微镜上。
21、本专利技术实施例提供一种器件声扫试验的超声波换能器确定系统，包括：上述的器件声扫试验的超声波换能器确定装置、图像采集设备、x射线检测设备和机械臂；
22、所述图像采集设备，设置在声学扫描显微镜的一侧，用于采集待测器件表面的表面图像，并将所述表面图像发送至所述器件声扫试验的超声波换能器确定装置；
23、所述x射线检测设备，设置在所述图像采集设备的一侧，用于检测所述待测器件表面的封装材质的检测厚度，并将所述检测厚度发送至所述器件声扫试验的超声波换能器确定装置；
24、所述机械臂，用于抓取所述目标超声波换能器并安装至声学扫描显微镜上。
25、在本专利技术的一个实施例中，所述机械臂包括：行走轨道、转动臂和机械爪；
26、所述转动臂的一端设置在所述行走轨道上；
27、所述转动臂的另一端与所述机械爪连接；
28、所述机械爪用于抓取所述目标超声波换能器并安装至声学扫描显微镜上。
29、在本专利技术的一个实施例中，所述机械爪，包括：安装座、舵机、主动齿轮、从动齿轮、主动连接臂、从动连接臂、主动夹臂、从动夹臂、主动中间臂和从动中间臂；
30、所述安装座，与所述转动臂的另一端固定连接。
31、所述舵机，设置在所述安装座上，输出轴与所述主动齿轮固定连接；
32、所述从动齿轮，与所述主动齿轮啮合，轮轴与所述安装座转动连接；
33、所述主动连接臂，一端与所述主动齿轮固定连接，另一端与所述主动夹臂的一端铰接；
34、所述从动连接臂，一端与所述从动齿轮固定连接，另一端与所述从动夹臂的一端铰接；
35、所述主动中间臂，一端与所述安装座铰接，另一端与所述主动夹臂铰接；
36、所述从动中间臂，一端与所述安装座铰接，另一端与所述从动夹臂铰接。
37、在本专利技术的一个实施例中，所述主动夹臂的另一端和所述从动夹臂的另一端上相对的两个面上分别设置有压力传感器；
38、所述主动夹臂的另一端和所述从动夹臂的另一端上相对的两个面为锯齿面。
39、本专利技术实施例提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述本专利技术实施例提供的器件声扫试验的超声波换能器确定方法。
40、本专利技术实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述本专利技术实施例提供的一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法。
41、本专利技术的有益效果：
42、本专利技术通过对待测器件表面的表面图像进行识别已确定封装材质的类型，并通过x射线检测封装材质的厚度，根据厚度确定所要使用的目标超声波换能器，并将目标超声波换能器自动安装，提高了器件声扫试验的自动化程度，从而，器件声扫试验选择超声波换能器更加便捷，提高了器件声扫试验的效率。
43、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
44、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述表面图像进行图像识别，确定所述待测器件表面的封装材质的类型，包括：
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述封装材质的类型和检测厚度确定目标超声波换能器，包括：
4.一种器件声扫试验的超声波换能器确定装置，其特征在于，包括：
5.一种器件声扫试验的超声波换能器确定系统，其特征在于，包括：如权利要求4所述的器件声扫试验的超声波换能器确定装置、图像采集设备、X射线检测设备和机械臂；
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述机械臂包括：行走轨道、转动臂和机械爪；
7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述机械爪，包括：安装座、舵机、主动齿轮、从动齿轮、主动连接臂、从动连接臂、主动夹臂、从动夹臂、主动中间臂和从动中间臂；
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述主动夹臂的另一端和所述从动夹臂的另一端上相对的两个面上分别设置有压力传感器；
9.一种电子设备，
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至3中任一项所述的器件声扫试验的超声波换能器确定方法。
...【技术特征摘要】
1.一种器件声扫试验的超声波换能器确定方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述表面图像进行图像识别，确定所述待测器件表面的封装材质的类型，包括：
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述封装材质的类型和检测厚度确定目标超声波换能器，包括：
4.一种器件声扫试验的超声波换能器确定装置，其特征在于，包括：
5.一种器件声扫试验的超声波换能器确定系统，其特征在于，包括：如权利要求4所述的器件声扫试验的超声波换能器确定装置、图像采集设备、x射线检测设备和机械臂；
6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述机械臂包括：行走轨道、转动臂和机械爪；
7...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄兰兰，谢晨明，喻真林，汤晨光，
申请(专利权)人：北京京瀚禹电子工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。