【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及车规芯片测试领域，尤其涉及一种车规级晶圆裸晶质量分级的方法及装置。
技术介绍
1、相较于普通消费类电子产品，车规芯片对可靠性要求更高，更应严格管控晶圆上裸晶(die)的品质。国际通用的汽车电子认证体系是由美国汽车电子协会制定的aec-q。2022年，汽车电子元器件标准工作委员在北京成立，是保障我国汽车电子产业健康安全稳定发展的重要举措，标志着我国汽车电子相关标准已经逐步落地。
2、芯片质量主要通过参数零件平均测试ppat(parametric part average testing)方法管控；这是用来检测半导体组件异常特性的统计方法，用于将问题产品剔除掉。ppat分为静态pat、动态pat和局域性pat。aec-001标准只要求通过静态pat测试。为达到更高的产品品质，汽车供应商一般要求同时满足静态、动态及地域性三项标准。
3、地域性pat要求，晶圆map图上标记出正常裸晶后，还需要分析map图，晶圆边缘的故障裸晶的四周及斜对角最邻近位置的正常裸晶，和四周全部被故障裸晶包围的正常裸晶，都要剔除。<...
【技术保护点】
1.一种车规级晶圆裸晶(die)的质量分级方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述故障裸晶之间的平均距离R的计算方法包括：
3.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述质量分级的阈值A的计算方法包括：
4.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述故障裸晶的故障度的计算方法包括：
5.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述正常裸晶故障度的计算方法包括：
6.根据权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种车规级晶圆裸晶(die)的质量分级方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述故障裸晶之间的平均距离r的计算方法包括：
3.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述质量分级的阈值a的计算方法包括：
4.根据权利要求1所述的车规级晶圆裸晶的质量分级方法，其特征在于，所述故障裸晶的故障度的计算方法包括：
5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：张庆平，
申请(专利权)人：安庆市长三角未来产业研究院，
类型：发明
国别省市：
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