光学式物理量测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种小型且高精度的光学式物理量测定装置。光学式物理量测定装置(1)具备发光元件(L)、至少包括第一受光元件和第二受光元件的多个受光元件(S)、以及反射部，发光元件根据辐射方向而具有不同的辐射光谱，使光至少以第一辐射角度、第二辐射角度以及第三辐射角度向存在被测定对象的空间辐射，反射部使从发光元件向不同的辐射方向辐射的光到达不同的多个位置，在以第一辐射角度辐射的光行进的光路中配置第一受光元件，在以第二辐射角度辐射的光行进的光路中配置第二受光元件，在以第三辐射角度辐射的光行进的光路中设置吸收体或空隙。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种光学式物理量测定装置。

技术介绍

1、作为光学式物理量测定装置，例如已知一种非色散红外吸收式气体浓度测定装置。非色散红外吸收式气体浓度测定装置作为使用了气体分子对于中红外光具有特有的吸收带这一情况的高精度的气体传感器而广为人知，该非色散红外吸收式气体浓度测定装置如下面那样进行动作。首先，从红外光源向光路中的气体照射红外光。透过了气体的红外光被光路引导到红外线检测器，被测定到达光量。此时，在入射到红外线检测器之前，通过在光路中设置带通滤光器，能够仅使处于气体分子特有的吸收带的红外光到达红外线检测器。在此，按照朗伯比尔定律，到达光量与光路中的气体浓度相应地衰减。能够基于到达光量来计算气体浓度。因而，在存在从光源照射的光的强度的变动、光路的反射率的变动、红外线检测器的特性变动等的情况下，气体浓度计算会产生大的误差，难以准确地测定气体浓度。在此，作为变动的因素，例如存在温度变化、伴随湿度而产生的应力的影响、光路的污染、干扰气体的影响等。

2、作为抑制这样的变动的影响的方法，已知一种使用了参考信号的方法。该方法使用仅探测从光源照射出的对气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学式物理量测定装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

9.根...

【技术特征摘要】

1.一种光学式物理量测定装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

9.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

10.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

11.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

12.根据权利要求6所述的光学式物理量测定装置，其特征在于，

13.根据权利要求1～3中的任一项所述的光学式物理量测定装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田大贵，一色翔太，
申请(专利权)人：旭化成微电子株式会社，
类型：发明
国别省市：