【技术实现步骤摘要】
本申请属于图像处理，尤其涉及一种图像处理方法、系统、电子设备和存储介质。
技术介绍
1、时间延迟积分（time delay integration，tdi）是一种特殊的图像采集技术。基于tdi技术设计的tdi相机在采集图像时能够显著增加信号强度（尤其是在弱光条件下），提高图像信噪比。由于上述特性，tdi相机可用于半导体相关产品（如晶圆、掩膜）中的缺陷检测。
2、使用tdi相机进行半导体产品的缺陷检测时，为了匹配更高的放大倍率及设备产率要求，可以将多台tdi相机拼接起来进行图像采集，从而获得更大的成像视场。
3、拼接的方式包括传感器拼接和机械拼接两种。传感器拼接是指将多台tdi相机的tdi传感器拼接形成一个更大尺寸的tdi传感器，多个tdi传感器共用一个电路输出数据，按这种拼接方式采集图像时，采集的速度会受到数据传输速度的限制。机械拼接是将多个tdi传感器及各自的输出电路通过机械结构直接固定连接为一个整体，各个tdi传感器分别使用各自的输出电路输出数据。
4、然而，机械拼接的多个tdi传感器在拍摄产品的...
【技术保护点】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各个所述时间延迟积分相机采集所述区域图像的方式包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述区域的散射率参数，配置各个所述区域对应的时间延迟积分相机采集图像时的积分级数，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将各个所述时间延迟积分相机采集的区域图像合并处理，得到所述目标对象的缺陷检测图像，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对各个所述时间延迟积分相机采集的区域图像进行配准，得到配准后区
【技术特征摘要】
1.一种图像处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，各个所述时间延迟积分相机采集所述区域图像的方式包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述区域的散射率参数，配置各个所述区域对应的时间延迟积分相机采集图像时的积分级数，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将各个所述时间延迟积分相机采集的区域图像合并处理，得到所述目标对象的缺陷检测图像，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对各个所述时间延迟积分相机采集的区域图像进行配准，得到配准后区域图像，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一类别的目标对象包括表面的图形特征的显著程度大于一定阈值的半导体产品；
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于第一配准策略对两帧所述区域图像进行配准，得到配准后区域图像，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据两帧所述区域图像的相关系数确定表征两帧所述区域图像之间错位程度的位移参数，包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一条件包括，所述位移参数对应的所述归一化相关系数，为所述多个位移量对应的多个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，李蔓一，陶陶，黄有为，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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