【技术实现步骤摘要】
本技术涉及烧结炉，具体为应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置。
技术介绍
1、烧结炉是一种运用在高温下，使固体颗粒相互键联，晶粒长大，空隙和晶界渐趋减少，通过物质的传递，其总体积收缩，密度增加，最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的炉具。
2、ito靶材的素坯在烧结炉内在一定气氛和温度条件下对进行烧结，通过对烧结过程中各因素的控制，来有效控制ito素坯晶粒的生长，从而达到靶材的晶粒分布均匀性及高致密化。
3、采用氧气氛无压烧结法制备ito靶材时，需要持续向烧结炉中输送氧气保证氧气在炉内的含量，目前，输送氧气的主要方式为通过管道直接输入，一是易使炉体出现温度变化，二是进气不均，综合会导致ito靶材致密度不足，为此，本技术提出能够解决上述问题的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，包括：
3、炉体，其顶部设置有排气管；
4、罩壳，覆在所述炉体外部，并与所述炉体的两侧分别形成一预热腔，两个预热腔均与所述排气管相连接，所述罩壳连接有出废气组件；
5、进气组件，包括两组进气管，两组所述进气管分别延伸至一个所述预热腔内，并从所述炉体的顶部穿入炉体内腔，每组所述进气管均在所述炉体内腔连接有进气栅板，两个所述进气栅板在炉体内腔以烧结
6、作为一种优选的技术方案，所述罩壳外壁设置有保温层。
7、作为一种优选的技术方案，所述出废气组件包括设置在罩壳底部的排废管，所述排废管穿出保温层。
8、作为一种优选的技术方案，所述进气管为扁口管，一侧贴合在炉体上受炉体壁热传导加热，其余侧均暴露在预热腔内可受排出的废气加热。
9、作为一种优选的技术方案，所述排气管连接有两组分流管，分流管与预热腔一一对应并相连接。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，在通过进气管对炉体内腔持续通入氧气等气氛时，氧气等气氛沿进气管流动在预热腔内受到废气的预加热，然后在炉体内腔受到烧结所具有的温度进行后加热，对通入氧气等气氛的进行预加热和后加热的两次加热，有效减少氧气等气氛进入炉体内腔后与炉体内腔温度梯度差，同时，通过两组进气栅板上的若干进气孔均匀进气，为烧结ito靶材提供充足的氧气等气氛，实现引流进高温氧气等气氛进入至炉体内腔，有效对热量进行循环利用，保证了ito靶材烧结质量，提高ito靶材致密度。
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1.应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述罩壳(20)外壁设置有保温层(40)。
3.根据权利要求2所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述出废气组件(50)包括设置在罩壳(20)底部的排废管(51)，所述排废管(51)穿出保温层(40)。
4.根据权利要求1所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述进气管(31)为扁口管，一侧贴合在炉体(10)上受炉体(10)壁热传导加热，其余侧均暴露在预热腔(21)内可受排出的废气加热。
5.根据权利要求1所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述排气管(11)连接有两组分流管(12)，分流管(12)与预热腔(21)一一对应并相连接。
【技术特征摘要】
1.应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述罩壳(20)外壁设置有保温层(40)。
3.根据权利要求2所述的应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，其特征在于，所述出废气组件(50)包括设置在罩壳(20)底部的排废管(51)，所述排废管(51)穿出保温层(40)。
...【专利技术属性】
技术研发人员：于军，蔡政泉，何卫华，
申请(专利权)人：南通富热特窑炉有限公司，
类型：新型
国别省市：
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