【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉用降氧导气罩。
技术介绍
1、单晶炉的底部是通过导气筒和波纹管与真空泵相连，在真空泵的作用下，将单晶炉内的保护气体带走，以保持炉内炉压和炉温处于所需期间，但是，在熔硅过程中，会出现溅硅现象，为了防止高温硅料通过导气筒进入波纹管将其烫坏，需要在导气筒的上端设置导气罩。
2、又由于单晶硅制造业主要朝着大热场、大装料、大尺寸方向发展，大热场的整体功率偏高，氧含量也较高，所以需提供一种实用的降耗能降氧的导气罩，目前采用的导气罩普遍为三段式散热口，该散热口较大，会造成热量流失较快。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种单晶炉用降氧导气罩，将导气罩改为通孔散热，分布在导气罩周围，并且，将底部排气口改为缩口，可以减小排气口体积。
2、具体采用了以下方案：
3、一种单晶炉用降氧导气罩，包括圆柱筒状的环形罩体，所述环形罩体的圆周面上开设有多个通孔，所述通孔的内表面与环形罩体的内部连接，所述通孔的外表面与环形罩体的外部连接，形成散热通...
【技术保护点】
1.一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，包括圆柱筒状的环形罩体(1)，所述环形罩体(1)的圆周面上开设有多个通孔(2)，所述通孔(2)的内表面与环形罩体(1)的内部连接，所述通孔(2)的外表面与环形罩体(1)的外部连接，形成散热通道，并且，所述环形罩体(1)的下端开口向内部缩小，环形罩体(1)的下端开口与导气筒(3)的上端开口连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，所述环形罩体(1)的圆周面由导气区域与保护区域构成，所述保护区域的两侧均与导气区域连接，所述导气区域上开设有多个通孔(2)。
3.根据权利要求1所述的一种...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，包括圆柱筒状的环形罩体(1)，所述环形罩体(1)的圆周面上开设有多个通孔(2)，所述通孔(2)的内表面与环形罩体(1)的内部连接，所述通孔(2)的外表面与环形罩体(1)的外部连接，形成散热通道，并且，所述环形罩体(1)的下端开口向内部缩小，环形罩体(1)的下端开口与导气筒(3)的上端开口连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，所述环形罩体(1)的圆周面由导气区域与保护区域构成，所述保护区域的两侧均与导气区域连接，所述导气区域上开设有多个通孔(2)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，所述环形罩体(1)包括外侧罩体(11)、与外侧罩体(11)的内表面连接的内侧罩体(12)，所述内侧罩体(12)与外侧罩体(11)上均开设有多个通孔(2)，内侧罩体(12)上的通孔(2)与外侧罩体(11)上的通孔(2)对应设置，使两侧通孔(2)连接，形成散热通道。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用降氧导气罩，其特征在于，所述外侧罩体(11)的圆周面或者内侧罩体(12)的圆周面由导气区域与保护区域构成，所述保护区域的两侧均与导气区...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾智君，关树军，洪华，路建华，李飞剑，王鹏，
申请(专利权)人：乐山市京运通半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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