【技术实现步骤摘要】
本技术涉及膜厚测量，具体为一种膜厚测量设备。
技术介绍
1、膜厚测量设备主要用于测定材料表面涂层或镀层的厚度，以确保产品符合质量标准和性能要求。这些设备在多个行业中发挥着重要作用，在生产过程中，确保产品涂层或镀层的厚度达到设计要求，对于产品的性能和耐用性至关重要。在新材料或新工艺的研发阶段，膜厚测量设备可以帮助科学家和工程师精确控制和调整薄膜的厚度，以研究其对产品性能的影响。
2、随着技术的进步，产品需要不断地进行迭代更新。膜厚测量设备可以帮助企业评估和改进现有产品的膜层结构，以满足市场的需求。不同行业对膜厚的测量需求各不相同，例如在半导体制造、汽车涂层、光学器件等领域，都需要精确的膜厚测量来保证产品的性能和质量。
3、此外，膜厚测量设备有多种类型，包括手持式和台式，以及基于不同原理的测量技术，如磁感应、电涡流、荧光x射线等。这些设备的操作简便，能够快速提供测量结果，极大地提高了生产效率和产品质量控制的精确度。
4、目前在膜厚测量中，已有一些用彩色光谱共焦传感器测量的设备。但是在实际应用中，稳定性不好，精度不高，难以满足客户需求。主要原因一是外部环境如灰尘、颗粒、脏污等影响导致被测工件放置时有局部凸起或凹陷；二是由于被测工件自身形状较薄，材料特性比较软，不易放平整；三是由于人工操作引入了误差，已有一些可测量的设备人为找位置测量，稳定性不高，精度不好。
技术实现思路
1、针对上述现有技术中的技术问题，本技术提供了一种膜厚测量设备，目的是解决上述问题
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种膜厚测量设备，包括驱动台，所述驱动台上侧面横向固定设有基板，还包括：
4、陶瓷板，其设于基板上侧面，所述基板对应陶瓷板开设有与之匹配的放置槽，所述陶瓷板上垂直于基板均匀开设有多个通气孔；
5、气管口，其设于基板下侧面，并穿过基板与放置槽底部连通，所述气管口与外界系统连通；
6、测量头，其垂直设于陶瓷板正上方，所述驱动台对应测量头活动设有驱动组件，所述驱动组件与测量头驱动连接；
7、彩色光谱共焦传感器，其固定设于测量头对应陶瓷板的一端上，并与驱动台电性连接。
8、优选的，所述驱动组件包括u型支撑架，其开口处两端垂直插设于驱动台上侧面，所述基板位于u型支撑架中部，所述驱动台上侧面对应u型支撑架插装处纵向开设有滑动槽，所述驱动台可驱动u型支撑架在驱动台上侧面前后来回滑动，所述测量头设于u型支撑架上端前侧，并与之活动连接。
9、优选的，所述u型支撑架上端前侧为无杆气缸，所述无杆气缸前侧设有移动块，所述移动块与测量头后侧面固定连接。
10、优选的，所述u型支撑架位于驱动台内两端横向固定设有连接板，所述驱动台内纵向水平设有螺纹杆，所述螺纹杆两端插装在驱动台内，并与之转动连接，所述螺纹杆穿过连接板，并与之螺纹连接，所述驱动台对应螺纹杆后端固定设有驱动电机，所述驱动电机与螺纹杆后端驱动连接，所述驱动电机与驱动台电性连接。
11、优选的，所述测量头包括连接杆，所述连接杆下侧内设有工业相机和工业镜头，所述工业相机与驱动台电性连接，所述工业镜头穿过连接杆延伸至连接杆下端对应陶瓷板处，所述工业镜头位于连接杆外的一端外围设有环形表面光源。
12、优选的，所述基板上侧面外围设有均匀四个调平组件，所述基板对应四个调平组件分别开设有调节孔，所述调平组件可穿过调节孔与驱动台固定连接。
13、优选的，所述调平组件包括第一螺钉，所述第一螺钉插装在调节孔内，并与之螺纹连接，所述第一螺钉内部插设有第二螺钉，并与之螺纹连接，所述第二螺钉穿过第一螺钉，并与驱动台螺纹连接。
14、与现有技术相比，本技术具备以下有益效果：
15、本技术提供的一种膜厚测量设备，在陶瓷板上均匀开设有多个通气孔，在外界系统与气管口连通后，通过外界系统通气将陶瓷板的通气孔内形成正气压，使放置在放置槽内的陶瓷板上的杂质灰尘进行吹扫，避免待测工件因灰尘放置不平，影响测量结果；放置待测工件后，通过外界系统抽气，将陶瓷板的通气孔内形成负气压，对工件进行吸附，保证其放置的高稳定性，提高测量精度，同时驱动台通过彩色光谱共焦传感器配合驱动组件将测量头精准移动至测量区域，相对人工调整，实现高精度、高效率、高稳定性的测量。
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1.一种膜厚测量设备，包括驱动台(1)，所述驱动台(1)上侧面横向固定设有基板(11)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述驱动组件(5)包括U型支撑架(51)，其开口处两端垂直插设于驱动台(1)上侧面，所述基板(11)位于U型支撑架(51)中部，所述驱动台(1)上侧面对应U型支撑架(51)插装处纵向开设有滑动槽(13)，所述驱动台(1)可驱动U型支撑架(51)在驱动台(1)上侧面前后来回滑动，所述测量头(4)设于U型支撑架(51)上端前侧，并与之活动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述U型支撑架(51)上端前侧为无杆气缸(52)，所述无杆气缸(52)前侧设有移动块(53)，所述移动块(53)与测量头(4)后侧面固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述U型支撑架(51)位于驱动台(1)内两端横向固定设有连接板(54)，所述驱动台(1)内纵向水平设有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)两端插装在驱动台(1)内，并与之转动连接，所述螺纹杆(14)穿
5.根据权利要求1所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述测量头(4)包括连接杆(41)，所述连接杆(41)下侧内设有工业相机(42)和工业镜头(43)，所述工业相机(42)与驱动台电性连接，所述工业镜头(43)穿过连接杆(41)延伸至连接杆(41)下端对应陶瓷板(2)处，所述工业镜头(43)位于连接杆(41)外的一端外围设有环形表面光源(44)。
6.根据权利要求1所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述基板(11)上侧面外围设有均匀四个调平组件(7)，所述基板(11)对应四个调平组件(7)分别开设有调节孔(16)，所述调平组件(7)可穿过调节孔(16)与驱动台(1)固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述调平组件(7)包括第一螺钉(71)，所述第一螺钉(71)插装在调节孔(16)内，并与之螺纹连接，所述第一螺钉(71)内部插设有第二螺钉(72)，并与之螺纹连接，所述第二螺钉(72)穿过第一螺钉(71)，并与驱动台(1)螺纹连接。
...【技术特征摘要】
1.一种膜厚测量设备，包括驱动台(1)，所述驱动台(1)上侧面横向固定设有基板(11)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述驱动组件(5)包括u型支撑架(51)，其开口处两端垂直插设于驱动台(1)上侧面，所述基板(11)位于u型支撑架(51)中部，所述驱动台(1)上侧面对应u型支撑架(51)插装处纵向开设有滑动槽(13)，所述驱动台(1)可驱动u型支撑架(51)在驱动台(1)上侧面前后来回滑动，所述测量头(4)设于u型支撑架(51)上端前侧，并与之活动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述u型支撑架(51)上端前侧为无杆气缸(52)，所述无杆气缸(52)前侧设有移动块(53)，所述移动块(53)与测量头(4)后侧面固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种膜厚测量设备，其特征在于，所述u型支撑架(51)位于驱动台(1)内两端横向固定设有连接板(54)，所述驱动台(1)内纵向水平设有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)两端插装在驱动台(1)内，并与之转动连接，所述螺纹杆(14)穿过连接板(54)，并与之螺纹连接，所述驱动台(1)对应螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：殷灿光，周述东，
申请(专利权)人：武汉一准测量技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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