【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆加工，具体为一种晶圆清理槽进出水口密封组件。
技术介绍
1、现有公告号为cn116313943a的中国专利文件公开了一种晶圆表面清洗装置及其在晶圆清洗制程中的应用，其包括依次设置的清洗池、漂洗池和干燥池，还包括用于输送晶圆的晶圆输送机构，所述晶圆输送机构将晶圆输送并依次经过清洗池、漂洗池和干燥池，晶圆依次进行清洗、漂洗和干燥步骤；其方案通过清洗池内部的水流震荡，将由于静电贴附在晶圆表面的灰尘颗粒除去，该水流震荡在清洗池和漂洗池内部均存在，在晶圆进入漂洗池内部后，漂洗池的纯水将清洗液除去的同时，由于在漂洗池的高湿度环境，在漂洗池内部不会重新产生静电，并且通过干燥池的例子风机的作用，同时通过第一晶圆托举组件和第二晶圆托举组件能够交替升起将晶圆朝向晶圆承托单元的一面抬升，使得晶圆上下表面均能被离子风机干燥，通过清洗池内部的具有导电性的清洗液进行清洗以能够有效祛除晶圆上下两个表面的静电，清洗池和漂洗池的水流震荡有效祛除由于静电吸附的灰尘。
2、上述方案及现有技术中对于晶圆的清洗工作一般都是放置在相应的清洗槽装置中进行清晰，其中通过输水泵向着清洗槽中进行充水，此过程中疏水泵的输水管与清洗槽装置的进水管一般通过法兰连接，或者相应的连接套结构进行连接；再通过简单的密封垫结构进行密封，法兰通过螺栓进行固定连接，在输水压力过大或者长时间使用下，其密封性能降低，难免造成水外溢，造成水资源的浪费，其现有的密封连接结构功能单一，缺乏相应稳定密封机构的基础上，也没有对外溢水的回收装置，需要进行改进和优化。
3、为
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆清理槽进出水口密封组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆清理槽进出水口密封组件，包括连接法兰、连接螺纹销、紧固螺母、密封垫结构、密封紧固组件和辅助组件；所述连接法兰固定设置在进水口的一端，且连接法兰也固定设置在输水管的一端，所述进水口设置在清洗槽装置上，所述进水口与连接法兰两者端部的连接法兰通过连接螺纹销进行连接，且连接螺纹销与紧固螺母螺纹连接，所述连接法兰的对接面设置有密封垫结构，所述密封紧固组件对连接法兰的连接进行密封紧固，且密封紧固组件与辅助组件连接设置。
3、优选的，所述密封垫结构包括密封垫主体、第一环形缓冲槽、第二环形缓冲槽、腔槽、连通槽；所述密封垫主体固定设置在连接法兰的对接面，且密封垫主体上设置有第一环形缓冲槽和第二环形缓冲槽，所述第二环形缓冲槽与第一环形缓冲槽上都等距设置有腔槽，所述第二环形缓冲槽与第一环形缓冲槽通过设置的连通槽进行连接。
4、优选的，所述第二环形缓冲槽与第一环形缓冲槽设置组数相同，且第二环形缓冲槽的环径大于第一环形缓冲槽的环径。
5、优选的，所述连通槽的一端与第二环形缓冲槽上的腔槽相连通，连通槽的另一端与第一环形缓冲槽上的腔槽相连通。
6、优选的，所述密封紧固组件包括第一紧固箍、第二紧固箍、对接板件、连接螺纹槽体、防溢辅助槽、连接底管、紧固螺丝、流通槽、连接嘴、收集筒；所述第一紧固箍的两端对称固定设置有对接板件，所述第二紧固箍的两端也对称固定设置有对接板件，所述第二紧固箍和第一紧固箍两者上的对接板件通过紧固螺丝进行固定连接，所述第二紧固箍和第一紧固箍两者的两侧都固定设置有卡边，所述第二紧固箍和第一紧固箍两者的一侧都设置有连接螺纹槽体，所述防溢辅助槽设置在第二紧固箍和第一紧固箍两者的内侧，所述第二紧固箍的底端连接设置有连接底管，所述连接底管与流通槽相连通设置，所述流通槽与防溢辅助槽相连通设置，所述连接底管与连接嘴螺纹连接，所述连接嘴固定设置在收集筒上。
7、优选的，所述第二紧固箍和第一紧固箍设置组数相同，两者对接形成一个环形卡紧箍，环形卡紧箍卡在连接法兰的连接位置。
8、优选的，所述防溢辅助槽在第二紧固箍中对称设置有两个，在第一紧固箍中也对称设置有两个，防溢辅助槽在环形卡紧箍中形成一个环形防溢槽。
9、优选的，所述连接螺纹槽体与连接螺纹销设置位置相对应、设置组数相同，且连接螺纹槽体与辅助组件连接设置。
10、优选的，所述辅助组件包括连接螺纹柱、套环、内螺纹压紧环、旋动辅助条、连接条体、锁紧压体、卡槽、辅助凸头；所述连接螺纹柱的一端与连接螺纹槽体相适配螺纹连接，所述连接螺纹柱上套设有套环，所述套环的一侧固定设置有连接条体，所述连接条体的另一端固定设置有锁紧压体，所述内螺纹压紧环与连接螺纹柱相适配螺纹连接，且内螺纹压紧环的一端外侧壁等距固定设置有旋动辅助条，所述锁紧压体中设置有卡槽，所述卡槽的内侧壁等距固定设置有辅助凸头。
11、优选的，所述卡槽在锁紧压体中设置有一个，且卡槽设置为圆台形，卡槽的小端直径和连接螺纹销的端部直径设置相等，且卡槽的大端直径大于紧固螺母的直径，所述锁紧压体与连接螺纹销设置组数相同。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
13、本专利技术主要是通过设置的密封垫结构与密封紧固组件的配合使用，对于晶圆清理槽的进水口与输水管的连接位置进行稳固密封，通过在密封垫主体设置相应的第一环形缓冲槽、第二环形缓冲槽，在保证稳定密封的基础上，针对在发生外溢情况时，对于外溢的水具有一定的缓冲防漏作用，且配合密封紧固组件中设置的第一紧固箍、第二紧固箍，提高连接法兰连接稳固性，以及在第二紧固箍的底端设置收集筒，对于外溢的水具有相应的收集作用，避免造成浪费；再者设置的辅助组件与第一紧固箍、第二紧固箍上的连接螺纹槽体进行配合使用，进一步提高连接螺纹销的牢固性，进而提高连接法兰的稳固性；提升清理槽装置进水口位置的整体密封性，对于提高晶圆清洗工作效益具有积极影响。
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1.一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：包括连接法兰（4）、连接螺纹销（5）、紧固螺母（6）、密封垫结构（7）、密封紧固组件和辅助组件；所述连接法兰（4）固定设置在进水口（2）的一端，且连接法兰（4）也固定设置在输水管（3）的一端，所述进水口（2）设置在清洗槽装置（1）上，所述进水口（2）与连接法兰（4）两者端部的连接法兰（4）通过连接螺纹销（5）进行连接，且连接螺纹销（5）与紧固螺母（6）螺纹连接，所述连接法兰（4）的对接面设置有密封垫结构（7），所述密封紧固组件对连接法兰（4）的连接进行密封紧固，且密封紧固组件与辅助组件连接设置。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述密封垫结构（7）包括密封垫主体（701）、第一环形缓冲槽（702）、第二环形缓冲槽（703）、腔槽（704）、连通槽（705）；所述密封垫主体（701）固定设置在连接法兰（4）的对接面，且密封垫主体（701）上设置有第一环形缓冲槽（702）和第二环形缓冲槽（703），所述第二环形缓冲槽（703）与第一环形缓冲槽（702）上都等距设置有腔槽（704），所述第二
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述第二环形缓冲槽（703）与第一环形缓冲槽（702）设置组数相同，且第二环形缓冲槽（703）的环径大于第一环形缓冲槽（702）的环径。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述连通槽（705）的一端与第二环形缓冲槽（703）上的腔槽（704）相连通，连通槽（705）的另一端与第一环形缓冲槽（702）上的腔槽（704）相连通。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述密封紧固组件包括第一紧固箍（801）、第二紧固箍（802）、对接板件（803）、连接螺纹槽体（804）、防溢辅助槽（805）、连接底管（806）、紧固螺丝（807）、流通槽（808）、连接嘴（809）、收集筒（810）；所述第一紧固箍（801）的两端对称固定设置有对接板件（803），所述第二紧固箍（802）的两端也对称固定设置有对接板件（803），所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者上的对接板件（803）通过紧固螺丝（807）进行固定连接，所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者的两侧都固定设置有卡边，所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者的一侧都设置有连接螺纹槽体（804），所述防溢辅助槽（805）设置在第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者的内侧，所述第二紧固箍（802）的底端连接设置有连接底管（806），所述连接底管（806）与流通槽（808）相连通设置，所述流通槽（808）与防溢辅助槽（805）相连通设置，所述连接底管（806）与连接嘴（809）螺纹连接，所述连接嘴（809）固定设置在收集筒（810）上。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）设置组数相同，两者对接形成一个环形卡紧箍，环形卡紧箍卡在连接法兰（4）的连接位置。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述防溢辅助槽（805）在第二紧固箍（802）中对称设置有两个，在第一紧固箍（801）中也对称设置有两个，防溢辅助槽（805）在环形卡紧箍中形成一个环形防溢槽。
8.根据权利要求5所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述连接螺纹槽体（804）与连接螺纹销（5）设置位置相对应、设置组数相同，且连接螺纹槽体（804）与辅助组件连接设置。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述辅助组件包括连接螺纹柱（901）、套环（902）、内螺纹压紧环（903）、旋动辅助条（904）、连接条体（905）、锁紧压体（906）、卡槽（907）、辅助凸头（908）；所述连接螺纹柱（901）的一端与连接螺纹槽体（804）相适配螺纹连接，所述连接螺纹柱（901）上套设有套环（902），所述套环（902）的一侧固定设置有连接条体（905），所述连接条体（905）的另一端固定设置有锁紧压体（906），所述内螺纹压紧环（903）与连接螺纹柱（901）相适配螺纹连接，且内螺纹压紧环（903）的一端外侧壁等距固定设置有旋动辅助条（904），所述锁紧压体（906）中设置有卡槽（907），所述卡槽（907）的内侧壁等距固定设置有辅助凸头（908）。
10.根据...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：包括连接法兰（4）、连接螺纹销（5）、紧固螺母（6）、密封垫结构（7）、密封紧固组件和辅助组件；所述连接法兰（4）固定设置在进水口（2）的一端，且连接法兰（4）也固定设置在输水管（3）的一端，所述进水口（2）设置在清洗槽装置（1）上，所述进水口（2）与连接法兰（4）两者端部的连接法兰（4）通过连接螺纹销（5）进行连接，且连接螺纹销（5）与紧固螺母（6）螺纹连接，所述连接法兰（4）的对接面设置有密封垫结构（7），所述密封紧固组件对连接法兰（4）的连接进行密封紧固，且密封紧固组件与辅助组件连接设置。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述密封垫结构（7）包括密封垫主体（701）、第一环形缓冲槽（702）、第二环形缓冲槽（703）、腔槽（704）、连通槽（705）；所述密封垫主体（701）固定设置在连接法兰（4）的对接面，且密封垫主体（701）上设置有第一环形缓冲槽（702）和第二环形缓冲槽（703），所述第二环形缓冲槽（703）与第一环形缓冲槽（702）上都等距设置有腔槽（704），所述第二环形缓冲槽（703）与第一环形缓冲槽（702）通过设置的连通槽（705）进行连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述第二环形缓冲槽（703）与第一环形缓冲槽（702）设置组数相同，且第二环形缓冲槽（703）的环径大于第一环形缓冲槽（702）的环径。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述连通槽（705）的一端与第二环形缓冲槽（703）上的腔槽（704）相连通，连通槽（705）的另一端与第一环形缓冲槽（702）上的腔槽（704）相连通。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清理槽进出水口密封组件，其特征在于：所述密封紧固组件包括第一紧固箍（801）、第二紧固箍（802）、对接板件（803）、连接螺纹槽体（804）、防溢辅助槽（805）、连接底管（806）、紧固螺丝（807）、流通槽（808）、连接嘴（809）、收集筒（810）；所述第一紧固箍（801）的两端对称固定设置有对接板件（803），所述第二紧固箍（802）的两端也对称固定设置有对接板件（803），所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者上的对接板件（803）通过紧固螺丝（807）进行固定连接，所述第二紧固箍（802）和第一紧固箍（801）两者的两侧都固定设置有卡边，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈园园，陈红文，唐建齐，冯侃宁，赵加欢，梁豹，冯泽霖，
申请(专利权)人：昆山艾森世华光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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