【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金属硅除尘清洗领域,具体而言,涉及一种金属硅库存成品除尘清洗装置。
技术介绍
1、目前,金属硅常需要加工成硅片,因为硅片是制作集成电路的重要材料,在生产过程中需要经过表面整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工序后一般放在库存房保管,但当放置时间过长时硅片表面可能存在部分浮灰,既需要对其进行清洗,但现有硅片清洗装置的清洗步骤普遍是将硅片放置在清洗架内,再将清洗架降入清洗箱内,通过超声清洗,清洗完成升至清洗箱上方,再拿取清洗完成的硅片,以此重复直至完成全部硅片的清洗,该步骤虽然清洗效果好,但需要拿取完一批硅片,再摆放下一批硅片,才能对下一批进行清洗,较为浪费时间,降低了装置的清洗效率。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足,本技术提供了一种金属硅库存成品除尘清洗装置,旨在改善清洗时拿放硅片和清洗不能同时进行较为浪费时间的问题。
2、本技术是这样实现的:一种金属硅库存成品除尘清洗装置,包括底座,所述底座顶端中心处固定安装清洗池,所述底座顶端两侧滑动安装支撑块,所述支撑块
...【技术保护点】
1.一种金属硅库存成品除尘清洗装置,包括底座,其特征在于,所述底座顶端中心处固定安装清洗池,所述底座顶端两侧滑动安装支撑块,所述支撑块上安装有驱动组件,所述支撑块顶端固定安装气缸,所述气缸的输出端固定安装支架,两个所述支架之间对称固定安装存放篮,所述存放篮为网状滤板组成,所述存放篮两侧与所述清洗池内壁滑动连接,所述清洗池一侧固定安装超声波发生器,所述清洗池内壁设置有凹槽,所述凹槽内壁固定安装换能器,所述换能器与所述超声波发生器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种金属硅库存成品除尘清洗装置,其特征在于,所述清洗池一侧一端安装有出水管,所述清洗池顶端固定安
...【技术特征摘要】
1.一种金属硅库存成品除尘清洗装置,包括底座,其特征在于,所述底座顶端中心处固定安装清洗池,所述底座顶端两侧滑动安装支撑块,所述支撑块上安装有驱动组件,所述支撑块顶端固定安装气缸,所述气缸的输出端固定安装支架,两个所述支架之间对称固定安装存放篮,所述存放篮为网状滤板组成,所述存放篮两侧与所述清洗池内壁滑动连接,所述清洗池一侧固定安装超声波发生器,所述清洗池内壁设置有凹槽,所述凹槽内壁固定安装换能器,所述换能器与所述超声波发生器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种金属硅库存成品除尘清洗装置,其特征在于,所述清洗池一侧一端安装有出水管,所述清洗池顶端固定安装喷杆,所述喷杆上固定安装多个喷头。
3.根据权利要求1所述的一种金属硅库存成品除尘清洗装置,其特征在于,所述底座顶端对称固定安装接水槽,其中一个所述存放篮在所述清洗池内时,另一个所述存放篮在所述接水槽的正上方,所述存放篮内安装有隔板,所述隔板也为网状滤板。
4.根据权利要求1所述的一种金属硅库存成品除尘清洗装置,其特征在于,所述支撑块顶端固定安装伸缩杆,所述伸缩杆的伸缩端与所述支架底端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种金属硅库存成品除尘清洗装置,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐胜平,欧启程,许正荣,韩建鹏,
申请(专利权)人:新安硅材料瑞丽有限公司,
类型:新型
国别省市:
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