一种插针固定工装制造技术

本技术揭示了一种插针固定工装，包括固定盘、定位座以及弹性支撑件，所述固定盘上设置有用于安装所述定位座的定位孔，所述定位座固定设置在所述定位孔内壁上，所述定位座用于固定和定位待插针的母座，所述弹性支撑件固定安装在所述固定盘上，所述弹性支撑件用于将位于所述定位座内的母座弹出。本技术采用定位座与弹性支撑件的配合，能够快速实现多个母座的定位安装以及拆卸，方便操作人员对母座进行插针操作，另外，固定盘采用无油衬套与定位销相配合的方式，能够快速完成固定盘的定位操作，具有结构简单、操作便捷的特点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体检验领域，特别是涉及一种插针固定工装。

技术介绍

1、半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而,在生产过程中必须建立相应的系统和精确的监控措施，首先要从半导体工艺检测着手。半导体工艺检测的项目繁多，可粗分为两类。第一类是半导体晶片在经历每步工艺加工前后或加工过程中进行的检测。第二类是对半导体单晶片以外的原材料、辅助材料、生产环境、工艺设备、工具、掩模版和其他工艺条件所进行的检测。

2、在半导体检测过程中，需要将插针插入到母座中，现有技术中多为一对一操作，即对一个母座固定后，随后对该母座进行插针，并使用螺丝进行固定，此种方法比较耗时，插针效率不高，存在一定的缺陷。

技术实现思路

1、本技术的目的在于，提供一种插针固定工装，以实现母座的快速固定和拆装，提高母座的插针效率。

2、为解决上述技术问题，本技术提供一种插针固定工装，包括固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种插针固定工装，其特征在于，包括固定盘、定位座以及弹性支撑件；

2.如权利要求1所述的插针固定工装，其特征在于，所述定位孔、所述定位座以及所述弹性支撑件数量相等。

3.如权利要求2所述的插针固定工装，其特征在于，所述定位孔设置有多个，且所述定位孔呈圆周均匀分布在所述固定盘上。

4.如权利要求1所述的插针固定工装，其特征在于，所述弹性支撑件包括固定设置在所述固定盘上的固定块，所述固定块通过支撑弹簧连接有支撑托板，所述支撑托板滑动安装在所述定位孔内壁上，且所述支撑托板位于所述定位座下方。

5.如权利要求1所述的插针固定工装，其特征在于，所...

【技术特征摘要】

1.一种插针固定工装，其特征在于，包括固定盘、定位座以及弹性支撑件；

2.如权利要求1所述的插针固定工装，其特征在于，所述定位孔、所述定位座以及所述弹性支撑件数量相等。

3.如权利要求2所述的插针固定工装，其特征在于，所述定位孔设置有多个，且所述定位孔呈圆周均匀分布在所述固定盘上。

4.如权利要求1所述的插针固定工装，其特征在于，所述弹性支撑件包括固定设置在所述固定盘上的固定块，所述固定块通过支撑弹簧连接有支撑托板，所述支撑托板滑动安装在所述定位孔内壁上，且所述支撑托...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宜钱，
申请(专利权)人：安徽超元半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：