【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于离散生产，具体涉及一种用于离散生产的连续用能仿真装置及方法。
技术介绍
1、对于离散生产的系统（例如，电子制造工厂）而言，配备的厂务系统往往都是工艺流程复杂，且其供能过程还要受到物料种类、反应机理、污染物变化、对应的离散生产设备实时工况等多种要素的耦合影响。
2、基于对厂务系统的规划设计及用能过程跟踪等方面的需求，当前有研究与离散生产相关的用能仿真。例如，专利cn116579273a给出一种半导体设备用电动态仿真方法及系统，方法包括：确定工艺设备的型号以及工艺制程；对工艺设备进行用电单元拆解；根据用电特性对用电单元进行分组；根据用电单元的分组，建立用电功率数据集；根据工艺设备及工艺制程的生产节拍和加工流程，建立用电动态仿真模型，并将用电功率数据集输入至用电动态仿真模型中；运行用电动态仿真模型并进行实时状态捕捉，动态输出半导体设备实时状态的用电功率。该方法能够实现工艺设备用电功率动态仿真模拟，可呈现一定周期设备用电曲线，方便数据分析。
3、如上述的现有技术考虑了生产对于用电的影响，给出一定周期内设备用...
【技术保护点】
1.一种用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，具体包括：通过信号连接的离散生产单元以及连续用能单元；
2.如权利要求1所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，当前工况为根据离散生产的工艺流程给出的预设工况，实时工况为根据连续用能单元优化后的工艺节拍对当前工况修正后的工况。
3.如权利要求1所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，离散生产单元包括调度模块、工艺节拍模块以及实时工况模块；
4.如权利要求3所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，根据离散生产的调度流程给出机台和/或腔室的各个工艺节拍，具体包括
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【技术特征摘要】
1.一种用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，具体包括：通过信号连接的离散生产单元以及连续用能单元；
2.如权利要求1所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，当前工况为根据离散生产的工艺流程给出的预设工况，实时工况为根据连续用能单元优化后的工艺节拍对当前工况修正后的工况。
3.如权利要求1所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，离散生产单元包括调度模块、工艺节拍模块以及实时工况模块；
4.如权利要求3所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，根据离散生产的调度流程给出机台和/或腔室的各个工艺节拍，具体包括：
5.如权利要求4所述用于离散生产的连续用能仿真装置，其特征在于，通过对各个腔室运行状态的分析，优化每个腔室的初始工艺节拍，得到各个腔室的工...
【专利技术属性】
技术研发人员：白帆，徐策，邱雪皎，孙雨萱，曹东，卢芳慧，赵晓妍，何丽华，程星华，罗丹，
申请(专利权)人：中国电子工程设计院股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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