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一种原位光谱检测的反应腔制造技术

技术编号:42497805 阅读:33 留言:0更新日期:2024-08-22 14:09
本发明专利技术提供了一种原位光谱检测的反应腔,包括一真空腔体、一反射器和一耦合器,所述反射器被设置于所述真空腔体内部,所述耦合器耦合于所述真空腔体,并将微波信号从外部传输线引入所述反射器中,进而将不同波段的光信号传输至所述反射器中,以在近似真空和全反射条件下对放置于所述真空腔体中的有机半导体样品进行检测,可以有效减少漏光,提高检测的准确度,对有机半导体样品内部结构的深度检测与分析具有重要意义。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到原位光谱检测,尤其涉及到一种原位光谱检测的反应腔


技术介绍

1、相较于传统的无机半导体,有机半导体因其特殊结构而拥有许多特有性质,使得其在太阳能电池、有机发光二极管、有机效晶体管等领域有着广泛的应用。因此,有机半导体薄膜的应用前景广阔、发展潜力巨大,但有机半导体薄膜存在掺杂物或结构缺陷,又存在不同程度分布的自由电子和空穴,从而使得电荷的注入、传输和光子的产生、传播等作用发生于不同的亚层。所以,全面剖析有机半导体薄膜材料的不同深度处的结构性质至关重要,因此对有机半导体薄膜检测是非常必要的,通过检测可以了解薄膜不同深度处的结构性质。

2、但是现有的检测技术无法满足有机半导体薄膜内部检测的需要,存在数据详尽水平低、光学检测精度较低、检测效率低等问题,制约了有机半导体材料的发展,急需通过提高检测精度,更深刻的了解有机半导体材料内部的结构,对于促进有机半导体材料的发展具有重要意义。


技术实现思路

1、本专利技术的一个优势在于提供一种原位光谱检测的反应腔,与检测设备相配套,通过相应的全反射真本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一原位光谱检测的反应腔,被安装于一原位光谱检测设备中,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述真空腔体包括一腔本体、一样品放置平台、一固定元件和具有一真空腔、一圆孔,所述真空腔被设置于所述腔本体内部,所述样品放置平台和所述固定元件连接于所述腔本体,并位于所述真空腔内部,所述圆孔被设置于所述样品放置平台,并与所述反射器相对应。

3.根据权利要求2所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述反射器被固定于所述固定元件并向着所述样品放置平台延伸,所述耦合器耦合于所述腔本体后分别延伸至所述反射器和所述圆孔,形成光通路。p>

4.根据权...

【技术特征摘要】

1.一原位光谱检测的反应腔,被安装于一原位光谱检测设备中,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述真空腔体包括一腔本体、一样品放置平台、一固定元件和具有一真空腔、一圆孔,所述真空腔被设置于所述腔本体内部,所述样品放置平台和所述固定元件连接于所述腔本体,并位于所述真空腔内部,所述圆孔被设置于所述样品放置平台,并与所述反射器相对应。

3.根据权利要求2所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述反射器被固定于所述固定元件并向着所述样品放置平台延伸,所述耦合器耦合于所述腔本体后分别延伸至所述反射器和所述圆孔,形成光通路。

4.根据权利要求3所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述反射器包括一反射器本体和具有一光通道,所述光通道贯通所述反射器本体的顶部和底部,且所述光通道与所述圆孔相对应,两个所述耦合器穿过所述腔本体后分别相对应的延伸至所述光通道和所述圆孔。

5.根据权利要求3所述的原位光谱检测的反应腔,其中所述反射器包括一第一反射器和一第二反射器,分别被固定于所述固定元件和所述样品放置平台,且所述第一反射器和所述第二反射器均为中空结构,并与所述圆孔相连通。

6.根据权利要求3所述的原位光谱检测的反应腔...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘威麟曾爽王钰恒
申请(专利权)人:宁波大学
类型:发明
国别省市:

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