一种LCD用G6代线一体式铝靶材组件的喷砂方法技术

本发明专利技术涉及一种LCD用G6代线一体式铝靶材组件的喷砂方法，所述喷砂方法包括：采用遮蔽治具对G6代线一体式铝靶材组件的非喷砂面进行遮蔽处理，得到预处理靶材组件；所述遮蔽治具包括一体成型的治具盖板，所述治具盖板包括顶板和侧壁，所述治具盖板覆盖在靶材组件的非喷砂面上，且治具盖板的内表面与靶材组件的非喷砂面贴合；将预处理靶材组件的喷砂面依次进行第一喷砂处理和第二喷砂处理，然后将遮蔽治具去除，将靶材组件依次进行清洗和干燥，得到喷砂后的G6代线一体式铝靶材组件。本发明专利技术提供的喷砂方法能够有效防止喷砂介质的入侵，保护靶材的溅射面避免受到喷砂损伤，提高良品率，保证喷砂面的表面粗糙度达到要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材加工，具体涉及一种lcd用g6代线一体式铝靶材组件的喷砂方法。

技术介绍

1、靶材是半导体制造中非常重要的材料，主要用于制备薄膜，广泛应用于集成电路、平板显示、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等领域。lcd(液晶显示器)靶材是用于制造液晶显示器件的关键材料之一，主要用于薄膜晶体管阵列的制作。在lcd的生产过程中，靶材通过溅射工艺沉积形成电极和其它功能层。靶材组件包括靶材和背板，lcd靶材组件一般包括g4.5代线一体型组件、g5代线一体型组件、g6代线一体型组件、g8.5代线一体型组件等，其中g6代线一体型组件的长度约为2200mm，宽度约为1700mm。

2、在靶材进行溅射之前，需要进行喷砂处理，以使得靶材获得较好的机械性能。通常，喷砂处理需要对靶材组件中除靶材本身的区域进行喷砂，比如背板的部分区域。其目的主要包括以下几个方面：(1)增加喷砂区域的表面粗糙度，提高与熔射膜层之间的粘附力，防止在长时间溅射过程中膜层的脱落；(2)去除表面的杂质和氧化物，从而改善靶材的机械性能；(3)去除靶材加工过程中可能会产生的毛刺，避免在溅射过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种LCD用G6代线一体式铝靶材组件的喷砂方法，其特征在于，所述喷砂方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述G6代线一体式铝靶材组件的厚度为10-30mm。

3.根据权利要求1或2所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述治具盖板与靶材组件的配合间隙为0-0.05mm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述治具盖板的材质包括轻质金属板或轻质金属合金中的任意一种。

5.根据权利要求1-4任一项所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述遮蔽处理后将治具盖板的侧壁边缘贴...

【技术特征摘要】

1.一种lcd用g6代线一体式铝靶材组件的喷砂方法，其特征在于，所述喷砂方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述g6代线一体式铝靶材组件的厚度为10-30mm。

3.根据权利要求1或2所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述治具盖板与靶材组件的配合间隙为0-0.05mm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述治具盖板的材质包括轻质金属板或轻质金属合金中的任意一种。

5.根据权利要求1-4任一项所述的喷砂方法，其特征在于，步骤(1)所述遮蔽处理后将治具盖板的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，许国，窦兴贤，王青松，朱雪明，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：