本发明专利技术公开了一种自动测高组件及其用于减薄机磨齿自动测高装置，涉及磨齿测高技术领域，用于减薄机磨齿自动测高装置包括：四连杆机构，其一侧用于与动力组件连接；压头，其用于与磨轮接触，压头设于四连杆机构的另一侧顶部；安装座，其设于四连杆机构的另一侧底部；传感器，其竖直设于安装座上，传感器的测量头用于与CT工作台接触；四连杆机构的顶部和底部设有弹性臂，弹性臂用于在受到磨轮的下压力时变形，且四连杆机构沿竖直方向设有复位件，以在撤销下压力时使弹性臂复位，四连杆机构初始状态呈第一平行四边形分布，四连杆机构变形时呈第二平行四边形分布。本装置可有效提高磨齿测高操作的效率和测量精度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及磨齿测高，更具体地说，涉及一种用于减薄机磨齿自动测高装置。此外，还涉及一种包括上述用于减薄机磨齿自动测高装置的自动测高组件。
技术介绍
1、在晶圆减薄机的使用过程中，需要定期检测主轴上磨轮上磨齿高度，以及磨齿距离ct工作台的高度，以保证晶圆减薄机的正常工作。目前，常用的磨齿测高方式为手动测高。例如，需要制作一种标准块规，块规通规和止规两部分构成（通规过止规不过为合格），通止规高度差根据精度要求加工，加工完毕的块规使用高精度量具测量通规和止规的高度，分别记录为m和n。具体的测高步骤为，将主轴下降到距离ct工作台一定高度，使用块规进行测量，当块规的通规可以通过，止规不可通过时，测量完成，此时磨齿距离ct工作台的距离m。
2、然而，这种手动测高方式需要人工参与，会引入因人为判断标准不统一带来的测量误差。且块规由通规和止规两部分构成，通规的高度一般会比止规的低20μm，20μm的高差会引入到测量误差中。另外，手动测高因需要多次用通止规测量磨齿与工作台的间隙，以达到较好的测量效果，导致手动测高的操作效率较低。
>3、综上所述，如何本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，所述四连杆机构（13）包括左安装板（1）、与所述左安装板（1）相对设置的右安装板（6）、中间定位板（2）、中间固定板（3）以及压板（5），所述弹性臂包括可弹性变形的铰链板（4），所述中间定位板（2）、所述铰链板（4）以及所述中间固定板（3）依次叠放连接，所述中间定位板（2）和所述中间固定板（3）的长度均为所述左安装板（1）和所述右安装板（6）的间距，所述铰链板（4）的长度大于所述中间定位板（2）的长度；
3.根据权利要求2所述的用于减薄机磨齿自动...
【技术特征摘要】
1.一种用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，所述四连杆机构（13）包括左安装板（1）、与所述左安装板（1）相对设置的右安装板（6）、中间定位板（2）、中间固定板（3）以及压板（5），所述弹性臂包括可弹性变形的铰链板（4），所述中间定位板（2）、所述铰链板（4）以及所述中间固定板（3）依次叠放连接，所述中间定位板（2）和所述中间固定板（3）的长度均为所述左安装板（1）和所述右安装板（6）的间距，所述铰链板（4）的长度大于所述中间定位板（2）的长度；
3.根据权利要求2所述的用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，螺钉（22）穿过所述中间固定板（3）和所述铰链板（4）固定在所述中间定位板（2）上。
4.根据权利要求2所述的用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，所述左安装块1的一侧设有导向块（9），所述导向块（9）的远离所述左安装块1的一端水平设有限位件（20），所述右安装板（6）设有滑槽，所述限位件（20）的端部插入所述滑槽内；
5.根据权利要求4所述的用于减薄机磨齿自动测高装置，其特征在于，所述导向块（9）内设有至少两个所述导向孔（23），且所述导向孔（23）设于靠近所述右安装板（6）的一端。
【专利技术属性】
技术研发人员：韩精昆，赵彤宇，曹心想，杜梦嘉，张秋峰，
申请(专利权)人：光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。