一种晶圆加工系统中面向对象的调度方法及其系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶圆加工系统中面向对象的调度方法及其系统，涉及晶圆加工技术领域，包括：设定晶圆加工的初始状态；其中，初始状态包括装载设备中未加工的晶圆数量、单臂机械手处于装载设备处、真空锁处于大气状态、双臂机械手中的R1处于真空锁处和双臂机械手中的R2处于加工模块处；通过构建好的OOPN模型对晶圆加工过程进行调度，表征晶圆加工过程的路径；其中，构建好的OOPN模型通过构建单个物理对象OPN模型，设定晶圆加工结构模型中各个结构库所节点数量和变迁节点数量，以及设定加工路径库所节点数量、变迁节点数量、各单元前置库所节点数量和各单元后置库所节点数量得到。本发明专利技术能够提高了模型的可用性，极大节约建模成本，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于晶圆加工，具体涉及一种晶圆加工系统中面向对象的调度方法及其系统。

技术介绍

1、半导体设备作为半导体芯片加工厂的微小单元，承担了芯片制造过程中的多个重要环节。半导体设备产能的高低直接影响芯片加工厂的效益，而高效稳定的调度系统是保证最优产能的前提。由于半导体设备内的加工存在诸多步骤和约束，从而导致了设备调度系统的设计十分复杂。与此同时，由于半导体设备内对晶圆的调度要求实时进行，因此对系统的计算速度有着较高要求。而完成上述任务的前提便是对半导体加工设备及加工过程进行完整准确的建模。

2、petri网用于设计和分析系统的建模工具，特别适用于模拟含有相互作用的并行分支的一类系统，同时能非常有效地描述带有非确定性、并发性、并行性、异步性的分布系统，目前已成为最有发展前途的建模工具，也被广泛的应用于半导体制造等相关领域。

3、现有的建模方法，通常是采用面向进程的petri网进行建模，在晶圆加工系统中，许多晶圆可以同时被加工，每一个晶圆都要按照预先设定的加工工艺完成许多道工序，采用面向进程的petri网建模方法可直接对系统的制造过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，在所述设定晶圆加工的初始状态之前，还包括：构建晶圆加工结构模型；

3.根据权利要求2所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，所述双臂机械手中的R1和R2之间呈180°，且所述双臂机械手中的R1和R2之间的角度固定不变，所述R1和R2不能同时转移晶圆。

4.根据权利要求1所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，所述单个物理对象OPN模型包括真空锁OPN模型、单臂机械手OPN模型、双臂机械手OPN模型和...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，在所述设定晶圆加工的初始状态之前，还包括：构建晶圆加工结构模型；

3.根据权利要求2所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，所述双臂机械手中的r1和r2之间呈180°，且所述双臂机械手中的r1和r2之间的角度固定不变，所述r1和r2不能同时转移晶圆。

4.根据权利要求1所述的晶圆加工系统中面向对象的调度方法，其特征在于，所述单个物理对象opn模型包括真空锁opn模型、单臂机械手opn模型、双臂机械手opn模型和加工模块opn模型；其中，所述真空锁与所述加工模...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鼎，陈玉峰，张庚声，王顺，高霖，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：