一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置制造方法及图纸

一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，其包括一个涡轮组件，一个涡杆组件，以及一个旋转平台，所述涡轮组件包括一个涡轮杆，一个涡轮主体，以及一个定位组件，所述定位组件包括一个座体，一个U形座，以及一个定位片，所述定位片上开设有限位槽，所述U形座的两段之间插装有一根定位销，所述定位销插装在所述限位槽内。本用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置通过使用所述定位组件，使得旋转平台与涡轮组件的位置相对固定，避免清洗架晃动导致所述涡轮组件与用于安装清洗架的所述旋转平台错位，影响旋转。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆盒清洗架，特别是一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置。

技术介绍

1、晶圆盒是一种用于存放晶圆的工具，由于晶圆盒在使用前后很容易沾染灰尘，在重复使用时，这部分灰尘很容易污染晶圆，因此需要对晶圆盒进行清洗，现如今的清洗架一般为旋转式，通过旋转装置带动清洗架水平转动，从而能够保证晶圆盒能够得到充分清洗。

2、然而在晶圆盒清洗架的使用过程中，由于每次需要清洗的晶圆盒的数量以及种类不同，因此挂满晶圆盒的清洗架的重心位置每次不相同，这会导致清洗架的稳定性较差，即清洗架在旋转过程中会产生晃动，使得晶圆盒清洗架的旋转装置与清洗架之间的连接部分出现偏移和错位，进而加剧了清洗架旋转时的晃动幅度，影响清洗架的使用。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术提供了一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，以解决上述问题。

2、一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，其包括一个涡轮组件，一个设置在所述涡轮组件的一侧且与所述涡轮组件啮合的涡杆组件，以及一个固定设置在所述涡杆组件的一侧的旋转平台。所述涡轮组件包括一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，其特征在于：所述用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置包括一个涡轮组件，一个设置在所述涡轮组件的一侧且与所述涡轮组件啮合的涡杆组件，以及一个固定设置在所述涡杆组件的一侧的旋转平台，所述涡轮组件包括一个涡轮杆，一个套装在所述涡轮杆外部的涡轮主体，以及一个设置在所述旋转平台与所述涡轮主体之间的定位组件，所述定位组件包括一个所述旋转平台上的座体，一个设置在所述座体的顶端且开口朝向所述涡轮主体的U形座，以及一个焊接在所述涡轮主体的一侧的定位片，所述定位片上开设有限位槽，所述U形座的两段之间插装有一根定位销，所述定位销插装在所述限位槽内，以使所述定位销在所述涡轮主体...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，其特征在于：所述用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置包括一个涡轮组件，一个设置在所述涡轮组件的一侧且与所述涡轮组件啮合的涡杆组件，以及一个固定设置在所述涡杆组件的一侧的旋转平台，所述涡轮组件包括一个涡轮杆，一个套装在所述涡轮杆外部的涡轮主体，以及一个设置在所述旋转平台与所述涡轮主体之间的定位组件，所述定位组件包括一个所述旋转平台上的座体，一个设置在所述座体的顶端且开口朝向所述涡轮主体的u形座，以及一个焊接在所述涡轮主体的一侧的定位片，所述定位片上开设有限位槽，所述u形座的两段之间插装有一根定位销，所述定位销插装在所述限位槽内，以使所述定位销在所述涡轮主体转动时在所述限位槽内移动。

2.如权利要求1所述的用于晶圆盒清洗架的水平旋转装置，其特征在于：所述涡杆组件包括一个涡杆，一个设置在所述涡杆的一端且用于控制所述涡杆转动的直流无刷电机，以及一个设置在所述涡杆的末端与所述旋转平台之间的涡杆座，所述涡杆的中轴线与所述涡轮主体的中轴线垂直，所述涡杆与所述涡轮主体啮合，所述直流无刷电机转动以带动所述涡杆转动，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘径波，刘出群，
申请(专利权)人：浙江赛瑾半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：