一种光纤F-P腔压力传感器制造技术

技术编号:42479138 阅读:12 留言:0更新日期:2024-08-21 13:00
本技术涉及一种光纤F‑P腔压力传感器,包括传感器光纤、基底腔、膜片、密封金属外壳、工装头,传感器光纤的外部套设有陶瓷保护套管,膜片内设置有空气谐振腔;传感器光纤的外部还套设有准直套管,传感器光纤与基底腔之间设置有位于陶瓷保护套管内部的增透膜,空气谐振腔的顶部设有金属反射膜;膜片的上方设置有钝化膜,钝化膜、第二胶粘剂层、膜片、第一胶粘剂层和基底腔连接成柱状体,柱状体外部套设有密封缓冲层。通过特殊的结构设计有效的减少了外界温度变化对压力传感器测量结果的影响,从而提升压力传感器测量的精度;使用中提高扩散硅压力传感器的防护效果,且提高传感器的抗磨损、抗冲击和振动的特性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光纤f-p腔压力传感器,属于压力传感器。


技术介绍

1、光纤传压力传感器具有测量精度高、抗电磁干扰、质量小、体积小、损耗低,以及测量范围广等优点,被广泛应用于航空航天、陀螺导航、桥梁建筑、石油勘探和生物医学等领域。其中,光纤法布里珀罗(f-p)作为一种重要的光纤器件,被广泛应用于压力、应变、温度、超声、折射率等参量的测量。

2、光纤f-p腔压力传感器的基本原理,其利用传感器探头内外压力差使得反射膜片受压变形,导致f-p腔内的光程发生改变,促使光纤的干涉光谱发生漂移来进行物理量的测量。由于f-p腔内的感压膜片在长时间使用过程中会因为外部的多种原因导致损坏,并且温度和压力的变化都会引起光纤压力传感器干涉光谱的漂移,所以在进行压力值测量的时候如何避免温度变化引起干扰的同时,又能提升传感器的使用寿命。是目前光纤f-p腔压力传感器亟需解决的问题。

3、本技术的目的在于提供一种光纤f-p腔压力传感器,以解决上述
技术介绍
中提出温度变化引起的波长漂移的问题。


技术实现思路

1、本技术针对本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光纤F-P腔压力传感器,包括传感器光纤(1)、基底腔(7)、位于基底腔(7)上方的膜片(9)、密封金属外壳(12)、工装头(11),所述传感器光纤(1)的外部套设有陶瓷保护套管(4),所述基底腔(7)与膜片(9)之间通过设置第一胶粘剂层(8)胶接,所述膜片(9)内设置有空气谐振腔(16);所述工装头(11)安装在密封金属外壳(12)的上端,所述工装头(11)的中央设置有进气孔(10),其特征在于:所述传感器光纤(1)的外部还套设有准直套管(3),所述准直套管(3)的上端位于陶瓷保护套管(4)的内部;所述传感器光纤(1)与基底腔(7)之间设置有位于陶瓷保护套管(4)内部的增透膜(5...

【技术特征摘要】

1.一种光纤f-p腔压力传感器,包括传感器光纤(1)、基底腔(7)、位于基底腔(7)上方的膜片(9)、密封金属外壳(12)、工装头(11),所述传感器光纤(1)的外部套设有陶瓷保护套管(4),所述基底腔(7)与膜片(9)之间通过设置第一胶粘剂层(8)胶接,所述膜片(9)内设置有空气谐振腔(16);所述工装头(11)安装在密封金属外壳(12)的上端,所述工装头(11)的中央设置有进气孔(10),其特征在于:所述传感器光纤(1)的外部还套设有准直套管(3),所述准直套管(3)的上端位于陶瓷保护套管(4)的内部;所述传感器光纤(1)与基底腔(7)之间设置有位于陶瓷保护套管(4)内部的增透膜(5),所述空气谐振腔(16)的顶部设有金属反射膜(15);所述膜片(9)的上方设置有钝化膜(13),所述钝化膜(13)与膜片(9)之间通过设置第二胶粘剂层(14)胶接;所述钝化膜(13)、第二胶粘剂层(14)、膜片(9)、第一胶粘剂层(8)和基底腔(7)连接成柱状体,所述柱状体外部套设有密封缓冲...

【专利技术属性】
技术研发人员:张泽胡雯博董刘成马文杰佘凌霄杨杨
申请(专利权)人:北京怀柔硬科技创新服务有限公司
类型:新型
国别省市:

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