一种平面绝对面形波面干涉检测装置及其应用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种平面绝对面形波面干涉检测装置及其应用方法，本发明专利技术平面绝对面形波面干涉检测装置包括波面干涉仪、平面镜头、被测平面镜、转台、直线平移台、角度测量传感器、X向角度传感器反射镜、Y向角度传感器反射镜；本发明专利技术方法包括根据角度测量传感器测量X向角度传感器反射镜或Y向角度传感器反射镜的角度以确定直线平移台运动前后的偏航角度变化。本发明专利技术旨在实现针对被测平面镜实现平面绝对面形波面干涉检测以保证对被测平面镜的检测精度，具有无理论误差、可同步分离离焦和像散等二阶项误差、像素级高分辨率、仅需2自由度运动、仅需4个不同位置测量结果、装置简单的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学元件、系统或仪器领域的光学面形测量技术，具体涉及一种平面绝对面形波面干涉检测装置及其应用方法。

技术介绍

1、紫外光刻、同步辐射光源、自由电子激光光源、激光陀螺等高端光学系统对关键核心光学元件提出了纳米、亚纳米甚至皮米级面形精度加工和测量要求。作为光学元件面形最常用的面形检测手段，波面干涉测量方法是相对干涉仪镜头参考面的测量。通常，商用干涉仪镜头参考面的面形误差在15nm-30nm rms左右，无法满足纳米及以上面形精度的检测需求。通常的做法是采用绝对检测的方法将参考面面形标定出，并在测量结果中减去。

2、目前公开的平面绝对面形波面干涉检测方法有三平板法、双剪切平移法、旋转平移法等，其中三平板法理论上只能得到截线面形，双剪切平移法理论上无法得到正确的二阶项面形误差（ x2、 y2、 xy）、旋转平移法理论上无法得到正确的离焦项面形误差（ x2、 y2）。采用三平板法和旋转平移法组合的形式可本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种平面绝对面形波面干涉检测装置，其特征在于，包括波面干涉仪（1）、平面镜头（2）、被测平面镜（3）、转台（4）、直线平移台（5）、角度测量传感器（6）、X向角度传感器反射镜（7）、Y向角度传感器反射镜（8）；所述平面镜头（2）安装于波面干涉仪（1）上，所述被测平面镜（3）安装在转台（4）上，所述转台（4）安装在直线平移台（5）上，所述被测平面镜（3）与平面镜头（2）平行，所述转台（4）的回转轴线与平面镜头（2）垂直，所述直线平移台（5）运动轴线与平面镜头（2）平行且与波面干涉仪（1）图像传感器的像素行平行，所述角度测量传感器（6）出射光束与直线平移台（5）运动轴线平行，所述X向角度...

【技术特征摘要】

1.一种平面绝对面形波面干涉检测装置，其特征在于，包括波面干涉仪（1）、平面镜头（2）、被测平面镜（3）、转台（4）、直线平移台（5）、角度测量传感器（6）、x向角度传感器反射镜（7）、y向角度传感器反射镜（8）；所述平面镜头（2）安装于波面干涉仪（1）上，所述被测平面镜（3）安装在转台（4）上，所述转台（4）安装在直线平移台（5）上，所述被测平面镜（3）与平面镜头（2）平行，所述转台（4）的回转轴线与平面镜头（2）垂直，所述直线平移台（5）运动轴线与平面镜头（2）平行且与波面干涉仪（1）图像传感器的像素行平行，所述角度测量传感器（6）出射光束与直线平移台（5）运动轴线平行，所述x向角度传感器反射镜（7）与角度测量传感器（6）的出射光束垂直，所述y向角度传感器反射镜（8）与x向角度传感器反射镜（7）之间夹角为90度。

2.根据权利要求1所述的平面绝对面形波面干涉检测装置，其特征在于，所述平面绝对面形波面干涉检测装置还包括控制模块，所述波面干涉仪（1）、转台（4）、直线平移台（5）和角度测量传感器（6）分别与控制模块相连。

3.根据权利要求2所述的平面绝对面形波面干涉检测装置，其特征在于，所述控制模块还连接有通讯模块，且所述控制模块通过通讯模块与一上位机相连。

4.一种权利要求1～3中任意一项所述的平面绝对面形波面干涉检测装置的应用方法，其特征在于，包括利用角度测量传感器（6）测量x向角度传感器反射镜（7）或y向角度传感器反射镜（8）的角度，以确定直线平移台（5）运动前后的偏航...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛帅，戴一帆，简浩鹏，彭小强，胡皓，刘勇，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：