【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及天车控制,尤其涉及一种天车漫游控制方法、装置、电子设备和存储介质。
技术介绍
1、在半导体制造中,晶圆片需要在不同的工艺设备之间搬送进行工艺处理,为提高搬送效率,优化产能,自动物料搬运系统被广泛应用在半导体制造行业中。其中,天车作为一种在高架轨道上滑行的搬送设备,被广泛应用于半导体制造工厂中foup(front openunified pod,即晶圆盒)的搬送任务。
2、当晶圆盒需要运输到下一个设备从而发起晶圆盒搬送请求时,天车控制系统通常会分配一个离起始点最近的空闲天车来执行该搬送请求对应的搬送任务。因此,为了提升搬送任务的执行效率,可以将空闲天车设置为漫游状态,使其在预设的漫游路径上匀速移动,使得当出现新的搬送请求时能就近调度到空闲天车,缩短天车前往起始点的时间成本。
3、然而,在为空闲天车设定漫游路径中,一种方式是控制空闲天车在某些固定的漫游路径上环绕,但这种最难过方式难以适应不断变化的系统环境,当各区域搬送任务的密度发生变化时,固定的漫游路径难以满足变化后的搬送任务需求,且天车的漫游行为对工
...【技术保护点】
1.一种天车漫游控制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值,具体包括:
3.根据权利要求2所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数,确定所述任一候选环路的影响力分值,具体包括:
4.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长,具体包括:
5.根据权利要求4所述的天车漫游控制方法,其
...【技术特征摘要】
1.一种天车漫游控制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述确定所述任一漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值,具体包括:
3.根据权利要求2所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述基于所述任一候选环路与各个处于工作状态的天车的规划路径之间重合路段的重合次数,确定所述任一候选环路的影响力分值,具体包括:
4.根据权利要求1所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述确定空闲天车在所述任一漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长,具体包括:
5.根据权利要求4所述的天车漫游控制方法,其特征在于,所述时间预估模型是基于如下步骤训练得到的:
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:王瑞骥,余君山,贾绍锋,
申请(专利权)人:华芯嘉兴智能装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。