一种半导体芯片封装装置及半导体芯片封装结构制造方法及图纸

技术编号:42469975 阅读:30 留言:0更新日期:2024-08-21 12:55
本发明专利技术涉及半导体芯片封装技术领域,特别是涉及半导体芯片封装装置及半导体芯片封装结构,半导体芯片封装装置包括架体、夹持机构、注胶机构和回胶机构,架体上设有离心盘和驱动机构;夹持机构设置在离心盘的边缘,半导体芯片封装结构内具有容胶腔,芯片本体具有与容胶腔连通的进胶口和溢胶口;注胶机构设置在离心盘上,且注胶机构的注胶口与进胶口连通;回胶机构设置在离心盘上,且回胶机构的回胶口与溢胶口连通;注胶机构向容胶腔内注胶时,驱动机构驱动离心盘转动,从而使得半导体芯片封装结构受到离心力作用,能够充分排出塑封胶层内气泡,减小了芯片本体因塑封胶层的热膨胀产生的应力、避免芯片本体与塑封胶层界面间产生裂纹。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体芯片封装,特别是涉及一种半导体芯片封装装置及半导体芯片封装结构


技术介绍

1、目前,常用的集成电路互联技术主要使用三种形式,第一种是引线键合技术,通过采用导电性好的金丝引线将芯片管脚与电路相连接。第二种是载带自动键合技术,通过将金丝转换成铜箔,将铜箔与芯片管脚的凸点贴合。第三种是倒装芯片技术,如图1所示,通过将芯片本体101的功能端的导电凸点与基板102上的凸点在一定工艺条件下连接起来,实现芯片本体101与基板102之间的电连接;为保证半导体芯片封装结构100的散热效果并实现对芯片本体101的密封保护,在芯片本体101的非功能端罩设有散热盖103,散热盖103与芯片本体101的非功能面之间形成容胶腔104,容胶腔104内设有塑封胶,塑封胶在起到塑封芯片本体101的同时起到导热作用。

2、目前,多采用塑封的方式将塑封胶涂覆在芯片本体101的非功能面,之后盖上散热盖103,通过压紧散热盖103来使得塑封胶充满容胶腔104,然而,涂胶过程中塑封胶内部容易产生气泡,压紧散热盖103时增大压持力仅能缩小塑封胶内的气泡体积,无法较好地本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体芯片封装装置,用于加工半导体芯片封装结构(100),其特征在于,

2.根据权利要求1所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述回胶机构包括压力传感器、回胶管(51)和回胶桶(52),所述回胶桶(52)设置在所述离心盘(2)上,所述回胶管(51)的一端连接所述溢胶口,所述回胶管(51)的另一端与所述回胶桶(52)连通;所述压力传感器的测试端与所述回胶管(51)的管腔连通,以测试所述回胶管(51)内的塑封胶液压力。

3.根据权利要求1所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述注胶机构包括储胶桶(41)、注胶管(42)和供气管,所述储胶桶(41)设置在所述...

【技术特征摘要】

1.一种半导体芯片封装装置,用于加工半导体芯片封装结构(100),其特征在于,

2.根据权利要求1所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述回胶机构包括压力传感器、回胶管(51)和回胶桶(52),所述回胶桶(52)设置在所述离心盘(2)上,所述回胶管(51)的一端连接所述溢胶口,所述回胶管(51)的另一端与所述回胶桶(52)连通;所述压力传感器的测试端与所述回胶管(51)的管腔连通,以测试所述回胶管(51)内的塑封胶液压力。

3.根据权利要求1所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述注胶机构包括储胶桶(41)、注胶管(42)和供气管,所述储胶桶(41)设置在所述离心盘(2)上,所述储胶桶(41)内设有活塞(411),所述活塞(411)将所述储胶桶(41)隔设为气体腔(412)和储胶腔(413);所述供气管与所述气体腔(412)连通,以向所述气体腔(412)内通入压缩气体,驱使所述活塞(411)向所述储胶腔(413)方向移动;所述注胶管(42)的一端与所述储胶腔(413)连通,所述注胶管(42)的另一端连接所述进胶口。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述夹持机构包括底座(31)和设置在所述底座(31)上的夹持组件,所述底座(31)转动连接在所述离心盘(2)的边缘处,所述夹持组件夹持所述半导体芯片封装结构(100),且使所述半导体芯片封装结构(100)的所述进胶口和所述溢胶口均位于所述半导体芯片封装结构(100)的上部;转动所述底座(31)可使所述半导体芯片封装结构(100)的上部向所述离心盘(2)的中心或所述离心盘(2)的外侧倾斜。

5.根据权利要求4所述的半导体芯片封装装置,其特征在于,所述夹持组件包括固定在所述底座(31)上的第一夹持件(32)、可移动地设置在所述底座(31)上的第二夹持件(33)以及伸缩驱动装置(34),所述第二夹持件(33)具有靠近所述第一夹持件(32)的夹持位和远离所述第一夹持件(32)的松开位,所述伸缩驱动装置(34)用于驱动所述第二夹持...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚大平
申请(专利权)人:江苏中科智芯集成科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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