【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体涉及一种制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置。
技术介绍
1、在硅片的加工及测试过程中，减薄湿法刻蚀工艺、缺陷湿法刻蚀工艺与清洗工艺是必不可少的工艺方法，而最终决定着湿法刻蚀工艺处理后硅片的质量，是硅片生产过程中的核心技术之一。
2、慢提拉槽用于盛放设定温度的去离子水，以将硅片浸没在所述去离子水中并缓慢提升以使所述硅片表面脱水，从而去除所述硅片表面残留的清洗液及金属离子；其中水质的好坏以及水温的控制是工艺关键。现有设备液位下降到低液位传感器位置才会补水，由于补水过多，导致温度降低，不能保证在需求范围内。现有慢提拉槽体只能检测ph值和电导率，水质变差时，无法自动调整。
技术实现思路
1、本技术提出了一种制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，解决上述现有技术存在的技术问题。
2、根据本技术的一个方面，提供了一种制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，包括：慢提拉槽体，在所述慢提拉槽体内设置储水箱，所述储水箱的底部一侧连接电...
【技术保护点】
1.一种制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，包括：慢提拉槽体，在所述慢提拉槽体内设置储水箱，所述储水箱的底部一侧连接电磁阀的一端，所述电磁阀的另一端连接单向阀控制回路，所述储水箱的底部的另一侧连接第一支路与第二支路，所述第一支路连接球阀的一端，所述球阀的另一端连接PH检测仪，所述PH检测仪连接电导率检测仪，所述第二支路连接抽水泵，所述抽水泵连接过滤器。
2.根据权利要求1所述的制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，所述储水箱内部一侧设置加热棒，另一侧设置低液位传感器，在所述加热棒的上方设置高液位传感器。
3.根...
【技术特征摘要】
1.一种制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，包括：慢提拉槽体，在所述慢提拉槽体内设置储水箱，所述储水箱的底部一侧连接电磁阀的一端，所述电磁阀的另一端连接单向阀控制回路，所述储水箱的底部的另一侧连接第一支路与第二支路，所述第一支路连接球阀的一端，所述球阀的另一端连接ph检测仪，所述ph检测仪连接电导率检测仪，所述第二支路连接抽水泵，所述抽水泵连接过滤器。
2.根据权利要求1所述的制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，所述储水箱内部一侧设置加热棒，另一侧设置低液位传感器，在所述加热棒的上方设置高液位传感器。
3.根据权利要求2所述的制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能控制装置，其特征在于，所述加热棒连接温度传感器。
4.根据权利要求1所述的制绒清洗慢提拉工艺水温及水质智能...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘长见，廖明墙，章慧巍，魏明洲，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：
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