自动光学检测方法及自动光学检测系统技术方案

技术编号:42456051 阅读:22 留言:0更新日期:2024-08-21 12:46
本发明专利技术涉及一种自动光学检测方法及自动光学检测系统。所述自动光学检测方法,包括以下步骤。确定待测结构的特征点。基于特征点,获取待测结构的多个不同制程分别对应的初始模板图。从多个初始模板图中确定基准模板图,并以基准模板图为标准对基准模板图之外的各初始模板图进行校正,以获得校正模板图。基于基准模板图和多个校正模板图,提供多个计算机辅助设计图;其中,计算机辅助设计图用于定义检测区域;基准模板图和多个校正模板图中具有相同检测区域的模板图共用同一个计算机辅助设计图。上述自动光学检测方法可以提高多制程待测结构中缺陷检测的准确性及检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示,尤其涉及一种自动光学检测方法及自动光学检测系统


技术介绍

1、随着芯片行业的迅速发展,芯片结构、电性及外观等的质量要求也越来越严格。相应地,各种检测手段也油然而生。其中,外观检测作为新兴的新型测试技术之一,发展迅速。

2、目前,采用自动光学检测(automated optical inspection,简称aoi)设备,可以基于摄像头的自动扫描采集芯片的外观图像,并对所采集图像进行处理,以确定出芯片的外观缺陷。如此,在通过显示器或自动标记将外观缺陷显示/标示出来后,可以方便于检测人员对芯片进行修整。

3、然而,aoi设备比较适合于产品单个工序的缺陷检测。若用于对产品的多个工序进行检测及数据分析,尤其是芯片的前段制程,则存在较多不完善。例如,不仅每道工序均需设置独立的模板图及算法标准,也容易因不同工序的各种差异导致检测数据的分析较为困难等,从而严重影响多工序产品的检测准确性和检测效率。

4、因此,如何提高芯片前段制程中的缺陷检测准确性及检测效率,是亟需解决的问题。


技术实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动光学检测方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述根据所述二值化图确定所述初始模板图的最佳比对特征,包括:

4.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述确定所述线段特征对应多个所述子线段特征中灰度值最高的所述子线段特征为所述最佳比对特征,包括:

5.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,其特征在于,分割同一个所述线段特征后获得的所述子线段特征的数量,小于或等于所述线段特征的线宽和所述像素宽度的比值。

6.根...

【技术特征摘要】

1.一种自动光学检测方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述根据所述二值化图确定所述初始模板图的最佳比对特征,包括:

4.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,其特征在于,所述确定所述线段特征对应多个所述子线段特征中灰度值最高的所述子线段特征为所述最佳比对特征,包括:

5.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,其特征在于,分割同一个所述线段特征后获得的所述子线段特征的数量,小于或等...

【专利技术属性】
技术研发人员:王彦赓
申请(专利权)人:重庆康佳光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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