晶圆翻转卡爪及其晶圆翻转装置制造方法及图纸

本申请涉及一种晶圆翻转卡爪及其晶圆翻转装置，包括：翻转电机、卡盘、辅助卡爪和晶圆翻转卡爪，晶圆翻转卡爪包括卡爪主体和底座，卡爪主体沿长度方向上开设有固定卡槽来卡住晶圆，固定卡槽的底壁为弧形，在晶圆接触受力时通过改变受力角度，减少固定卡槽的磨损，并将卡爪主体的材质改进为掺杂碳的PEEK，提升晶圆翻转卡爪的硬度，减少晶圆翻转卡爪的卡槽磨损。不仅如此，翻转件随卡盘在竖直方向上的转动而朝向卡爪主体的外部转动，推动晶圆在固定卡槽内快速滑动，避免晶圆在固定卡槽内卡住，导致晶圆的位置发生偏移。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆加工，尤其涉及一种晶圆翻转卡爪及其晶圆翻转装置。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。在晶圆的制造过程中，化学机械研磨是必不可少的工序。而在化学机械研磨中，晶圆的翻转动作是十分常见的动作之一。

2、现有技术中，使用晶圆翻转卡盘配合卡爪完成晶圆由竖直状态转为水平状态，然而卡爪的卡槽为直角面，在抓取晶圆受力时，容易产生压痕造成卡爪的磨损，导致晶圆的位置发生偏移，从而导致晶圆翻转装置报警，无法进行生产。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提出了一种晶圆翻转卡爪及其晶圆翻转装置，。

2、根据本申请的一方面，提供了一种晶圆翻转卡爪，包括：卡爪主体和底座；

3、所述卡爪主体长度方向的一端为转动部，另一端为固定部，所述固定部与所述底座连接；且

4、所述卡爪主体沿长度方向上开设有固定卡槽，所述固定卡槽的底壁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆翻转卡爪，适用于设置在翻转装置的卡盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述固定卡槽远离所述固定部的一侧为第一抵接侧，所述第一抵接侧的截面为弧形结构，且所述第一抵接侧与所述固定卡槽的底壁平滑连接；

3.根据权利要求2所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述固定卡槽底壁的弧度角度在40度-50度区间内。

4.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述卡爪主体采用掺杂碳的PEEK材质。

5.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述底座的整体为柱状结构，长度方向的一端与所述固定部连接，...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆翻转卡爪，适用于设置在翻转装置的卡盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述固定卡槽远离所述固定部的一侧为第一抵接侧，所述第一抵接侧的截面为弧形结构，且所述第一抵接侧与所述固定卡槽的底壁平滑连接；

3.根据权利要求2所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述固定卡槽底壁的弧度角度在40度-50度区间内。

4.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述卡爪主体采用掺杂碳的peek材质。

5.根据权利要求1所述的晶圆翻转卡爪，其特征在于，所述底座的整体为柱状结构，长度方向的一端与所述固定部连接，另一端适用于连接在卡盘的一侧；且

6.根据权利要求1-...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘传波，王成龙，
申请(专利权)人：北京瑞迅创达精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：