【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体分析，具体而言，涉及一种样品固定装置与系统。
技术介绍
1、在半导体失效分析中，经常采用显微镜对样品进行观测。为了对样品进行全方位观测，现阶段的样品固定装置在观察完样品的一个面后，需要取下取样夹具，旋转角度后再度固定，并且每次需调整样品的位置、显微镜的位置与焦距等，存在作业过程较为繁琐、所需的检测时间较长、工作效率低下等问题。
2、因此，如何提高样品检测的效率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种样品固定装置，以解决现有技术中如何提高样品检测的效率的技术问题。
2、本申请的另一目的在于提供一种样品固定系统，以解决现有技术中如何提高样品检测的效率的技术问题。
3、本申请是这样实现的：
4、一方面，本申请实施例提供了一种样品固定装置，所述样品固定装置包括第一夹持组件与第二夹持组件，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相对设置并用于夹持样品；所述第一夹持组件与所述第二夹持组件中至少一个设置有旋...
【技术保护点】
1.一种样品固定装置，其特征在于，所述样品固定装置包括第一夹持组件与第二夹持组件，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相对设置并用于夹持样品；
2.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件均设置有所述旋转装置，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件的旋转装置带动所述样品同步旋转。
3.根据权利要求1或2所述的样品固定装置，其特征在于，所述旋转装置包括旋转杆、连接机构、旋转盘和第一固定件；所述连接机构的一端与所述旋转盘连接，另一端垂直穿过夹持组件并与所述旋转杆连接。
4.根据权利要求3所述的样品固定装...
【技术特征摘要】
1.一种样品固定装置，其特征在于，所述样品固定装置包括第一夹持组件与第二夹持组件，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件相对设置并用于夹持样品；
2.根据权利要求1所述的样品固定装置，其特征在于，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件均设置有所述旋转装置，所述第一夹持组件与所述第二夹持组件的旋转装置带动所述样品同步旋转。
3.根据权利要求1或2所述的样品固定装置，其特征在于，所述旋转装置包括旋转杆、连接机构、旋转盘和第一固定件；所述连接机构的一端与所述旋转盘连接，另一端垂直穿过夹持组件并与所述旋转杆连接。
4.根据权利要求3所述的样品固定装置，其特征在于，所述第一固定件连接于所述旋转盘的中心位置。
5.根据权利要求3所述的样品固定装置，其特征在于，所述第一固定件连接于所述旋转盘的边缘位置。
【专利技术属性】
技术研发人员：俞嘉亮，李成军，倪亮亮，施健，
申请(专利权)人：捷捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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