【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅棒加工设备,特别涉及协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法。
技术介绍
1、现有硅片的制作流程,一般是将硅棒(例如硅棒或多晶硅棒)通过双根立式开方装置进行开方,使得硅棒整体呈类矩形;开方完毕后,对硅棒进行磨面、滚圆及抛光等处理;最后,再采用多线切片机对开方后的硅棒进行切片。
2、双根立式开方装置是借助连续快速移动的丝线,在上面大量喷洒配置好的砂浆,对硅棒进行的切割加工,通常双根立式开方装置的加工工艺为单向进行加工,造成加工效率不高且加工工艺质量不高的情况。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法,用以解决
技术介绍
中提出的问题。
2、一种协同工作的双根立式开方装置,包括:
3、参数确定模块,用于基于待加工材料的需求,结合工艺设备参数范围,确定对待加工材料的多种加工工艺参数方案;
4、协同评估模块,用于基于工艺设备的设备使用参数,对每种加工工艺参数方案进行第一评估,基于每种加工工艺参
...【技术保护点】
1.一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述参数确定模块,包括:
3.根据权利要求2所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述方案分析单元,包括:
4.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述协同评估模块,包括:
5.根据权利4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述特征确定单元,包括:
6.根据权利要求4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述第二评估单元,
...
【技术特征摘要】
1.一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述参数确定模块,包括:
3.根据权利要求2所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述方案分析单元,包括:
4.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述协同评估模块,包括:
5.根据权利4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述特征确定单元,包括:
6.根据权利要求4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:李鸿邦,潘浩,张帅,钱金柱,
申请(专利权)人:曲靖阳光新能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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