协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法制造方法及图纸

技术编号:42429195 阅读:28 留言:0更新日期:2024-08-16 16:42
本发明专利技术提供了协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法,通过基于待加工材料的需求,结合工艺设备参数范围,确定对待加工材料的多种加工工艺参数方案,基于工艺设备的设备使用参数,对每种加工工艺参数方案进行第一评估,基于每种加工工艺参数方案的环线双根协同特征进行第二评估,并根据综合评估结果,确定目标加工工艺参数方案,实现对加工材料的环线加工,保证双根协同工作的最优性,然后,按照目标加工工艺参数方案对待加工材料进行加工并进行监测,得到监测数据,对所述监测数据进行协同切割效果评估,根据效果评估结果对环线双根协同参数进行实时调整,实现在加工过程中对环线双根协同参数进行实时调整,保证加工效率和工件质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅棒加工设备,特别涉及协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法


技术介绍

1、现有硅片的制作流程,一般是将硅棒(例如硅棒或多晶硅棒)通过双根立式开方装置进行开方,使得硅棒整体呈类矩形;开方完毕后,对硅棒进行磨面、滚圆及抛光等处理;最后,再采用多线切片机对开方后的硅棒进行切片。

2、双根立式开方装置是借助连续快速移动的丝线,在上面大量喷洒配置好的砂浆,对硅棒进行的切割加工,通常双根立式开方装置的加工工艺为单向进行加工,造成加工效率不高且加工工艺质量不高的情况。


技术实现思路

1、本专利技术提供一种协同工作的双根立式开方装置及其协同工作的方法,用以解决
技术介绍
中提出的问题。

2、一种协同工作的双根立式开方装置,包括:

3、参数确定模块,用于基于待加工材料的需求,结合工艺设备参数范围,确定对待加工材料的多种加工工艺参数方案;

4、协同评估模块,用于基于工艺设备的设备使用参数,对每种加工工艺参数方案进行第一评估,基于每种加工工艺参数方案的环线双根协同本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述参数确定模块,包括:

3.根据权利要求2所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述方案分析单元,包括:

4.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述协同评估模块,包括:

5.根据权利4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述特征确定单元,包括:

6.根据权利要求4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述第二评估单元,包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述参数确定模块,包括:

3.根据权利要求2所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述方案分析单元,包括:

4.根据权利要求1所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述协同评估模块,包括:

5.根据权利4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征在于,所述特征确定单元,包括:

6.根据权利要求4所述的一种协同工作的双根立式开方装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:李鸿邦潘浩张帅钱金柱
申请(专利权)人:曲靖阳光新能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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