一种通过表面沉积YbF3薄膜提高金刚石远红外波段透过率的方法技术

本发明专利技术公开了一种通过表面沉积YbF<subgt;3</subgt;薄膜提高金刚石远红外波段透过率的方法，属于红外光学窗口领域。本发明专利技术要解决目前提高金刚石远红外波段透过率的方法工艺复杂且成本较高的的问题。本发明专利技术在金刚石上、下表面沉积1/4中心波长YbF<subgt;3</subgt;介质薄膜，有效提高金刚石在远红外波段的透过率，提高了金刚石作为红外光学窗口的性能，本发明专利技术的红外透过率提高到了91％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于红外光学窗口领域，具体地说，涉及一种通过在金刚石表面沉积ybf3薄膜得到高红外透过率的金刚石光学窗口元件。

技术介绍

1、红外技术的应用离不开红外探测系统，而红外窗口是红外探测系统的重要组成部分，它起着传播红外辐射，保护内部的探测信号、成像处理系统，散发红外探测系统服役时产生的热量等重要作用。随着红外技术的不断发展，红外探测器的工作波段已由近、中红外波段逐渐扩展到了远红外波段(8～14μm)。

2、金刚石与传统的红外光学材料(比如硫化锌、蓝宝石)相比，具有更优异的物理和化学性能，如高的热导率22wcm-1k-1、低的热膨胀系数1.0×10-6/℃等。此外，金刚石具有十分优异的光学性能，从紫外(～0.22μm)到远红外波段都具有良好的透过率。然而，金刚石在常温下的折射率约为2.4，较高的折射率引起的高反射率导致金刚石在远红外波段的透过率只有71％，因此，提高金刚石在远红外波段的透过率是其应用于红外光学窗口领域的重要前提。

3、目前，提高金刚石远红外波段透过率的方法主要有两类，第一类是通过微纳米加工技术，在金刚石表面制作减本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种通过表面沉积YbF3薄膜提高金刚石远红外波段透过率的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，金刚石基底选用(100)晶面的CVD单晶金刚石。

3.根据权利要求1所述方法，其特征在于，步骤一中，在250℃下持续加热2小时。

4.根据权利要求1所述方法，其特征在于，步骤二是利用电子束蒸镀设备实现的，具体是通过膜厚检测仪控制薄膜沉积的速率保持在0.3nm/s，等金刚石基底上表面沉积完要求的厚度后，取出进行相关的光学测试，随后在金刚石样品的另一表面沉积相同厚度的YbF3薄膜。

5.根据权利要求4所述方法，其...

【技术特征摘要】

1.一种通过表面沉积ybf3薄膜提高金刚石远红外波段透过率的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，金刚石基底选用(100)晶面的cvd单晶金刚石。

3.根据权利要求1所述方法，其特征在于，步骤一中，在250℃下持续加热2小时。

4.根据权利要求1所述方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨云鹏，代兵，刘康，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：