【技术实现步骤摘要】
本申请涉及led巨量转移，尤其涉及一种轴系精度测量方法、装置、刺晶设备及存储介质。
技术介绍
1、mini led是芯片尺寸介于50~200um的led器件，micro led是芯片尺寸小于50um的led器件，在小尺寸穿戴设备、vr（virtual reality，虚拟现实）/ar（augmented reality，增强现实）设备以及手机、平板等显示设备中广泛应用。目前，mini led/micro led巨量转移技术主要采用激光转移、倒装刺晶、静电力吸附、流体装配等技术，其中技术成熟度较高的是倒装刺晶技术。
2、刺晶设备是倒装刺晶技术的核心设备，其需要具备高精度、高速度以及高稳定性的特点，对此，在设备安装调试过程中需要对其轴系精度以及稳定性有极高的要求。相关技术中通常利用激光干涉仪来对轴系精度进行测量，但是在实际应用中，利用激光干涉仪的测量方式的操作复杂，而且其测量精度还极易受到环境因素的影响，从而导致对轴系精度的测量效率较低且测量精度较差。
技术实现思路
1、本申请提供...
【技术保护点】
1.一种轴系精度测量方法，其特征在于，应用于刺晶设备，所述刺晶设备包括相机和标定板，所述相机用于拍摄所述标定板上的标记点，且所述相机处于标定完成状态以将所述相机对应的相机坐标系关联于光栅坐标系，所述轴系精度测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的轴系精度测量方法，其特征在于，所述基于所述移动间距，依次沿第一移动方向以及第二移动方向逐步移动所述相机，以获取同一方向的多个目标标记点对应的光栅坐标，所述第一移动方向平行于所述标定板对应的标定板坐标系的第一坐标轴，所述第二移动方向垂直于所述第一移动方向，包括：
3.根据权利要求2所述的轴系精度测量方法，...
【技术特征摘要】
1.一种轴系精度测量方法，其特征在于，应用于刺晶设备，所述刺晶设备包括相机和标定板，所述相机用于拍摄所述标定板上的标记点，且所述相机处于标定完成状态以将所述相机对应的相机坐标系关联于光栅坐标系，所述轴系精度测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的轴系精度测量方法，其特征在于，所述基于所述移动间距，依次沿第一移动方向以及第二移动方向逐步移动所述相机，以获取同一方向的多个目标标记点对应的光栅坐标，所述第一移动方向平行于所述标定板对应的标定板坐标系的第一坐标轴，所述第二移动方向垂直于所述第一移动方向，包括：
3.根据权利要求2所述的轴系精度测量方法，其特征在于，在暂停沿当前的移动方向移动所述相机后，以所述初始标记点或沿当前移动方向上获取的最后一个目标标记点作为沿另一移动方向移动所述相机的起始位置。
4.根据权利要求2或3所述的轴系精度测量方法，其特征在于，在所述相机的视野区域内存在多个标记点的情况下，所述在每次将所述相机按照所述移动间距进行步进后，将所述相机的视野中心对齐位于所述相机的视野区域内的目标标记点，以获取所述目标标记点对应的光栅坐标，包括：
5.根据权利要求1所述的轴系精度测量方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱庆华，邹亲亲，陈万群，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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