【技术实现步骤摘要】
本申请涉及加热器，尤其是涉及一种管路加热器及气路结构。
技术介绍
1、在热式薄膜原子层沉积设备中，反应腔室内需要交替通入两种不同的反应气体，为了加快反应进程，这些反应气体在通入腔室之前通常需要提前预热，达到一定的温度。现有技术中，通常仅在气体管路的某一处对反应气体进行加热，如仅在反应腔进口处设置温度检测装置及加热装置对反应气体进行加热。但上述加热方式仅针对特定的位置进行温度控制，容易导致反应气体在气体管路内的温度不一致，并且这种即时加热方式也对加热装置具有更高的功率要求。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本申请提供了一种提升气体加热均匀性的管路加热器。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
3、本申请提供了一种管路加热器，用于调控气体管路内的温度，该管路加热器包括两个相互连接的半加热器，该半加热器包括保温层、加热机构和外层壳体；保温层的内侧形成一能够贴合至气体管路的凹槽，加热机构设于保温层内，加热机构用于加热保温层，外层壳体设于保温层的外侧，外层壳体用于...
【技术保护点】
1.一种管路加热器，用于调控气体管路内的温度，其特征在于，所述管路加热器包括两个相互连接的半加热器，所述半加热器包括：
2.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的管路加热器，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
9.根据...
【技术特征摘要】
1.一种管路加热器，用于调控气体管路内的温度，其特征在于，所述管路加热器包括两个相互连接的半加热器，所述半加热器包括：
2.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的管路加热器，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的管路加热器，其特征在于：
5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱凌锋，陈培杰，罗丹，张华敏，胡汉彦，王昊诚，
申请(专利权)人：浙江求是创芯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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