【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于特种气体,涉及一种激光刻蚀气体的制备方法,尤其涉及一种六氟-1,3-丁二烯的制备方法。
技术介绍
1、六氟-1,3-丁二烯(hexafluoro-1,3-butadiene,简称hfbd),又称六氟丁二烯、全氟丁二烯,其分子式为c4f6,相对分子质量为162g/mol,熔点为-132℃,沸点为4~6℃,标准状态下是一种无色、无嗅、有毒、可燃烧和可压缩的气体,不溶于水,其臭氧层消耗潜值(odp)为0,全球变暖潜值(gwp)值为290,在大气中的平均寿命为1.9d,是一种绿色环保的全氟代类烯烃。
2、六氟-1,3-丁二烯是一种用途广泛的工业原料,其下游产品不仅可用于精密电子线路板清洗剂,农药杀虫剂,还在含氟医药中间体等含氟精细化学品合成方面具有较高的应用价值。在含氟高分子合成方面,它可以作为高分子单体制备聚六氟丁二烯,也可以与其他单体合成含氟橡胶和含氟弹性体。另外,六氟-1,3-丁二烯也可作为蚀刻剂应用于半导体行业。
3、六氟-1,3-丁二烯可用于90nm以下甚至更窄的宽度进行干蚀刻,与传统的等离子蚀刻
...【技术保护点】
1.一种六氟-1,3-丁二烯的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述三氟氯乙烯与1,1,2-三氟-1,2,2-三氯乙烷的摩尔比为(2~4):1。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述三氟氯乙烯与1,1,2-三氟-1,2,2-三氯乙烷先经预热混合,混合的气体再通入反应器中;
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述催化剂包括金属氧化物、金属卤化物或改性催化剂中的任意一种或至少两种的组合;
5.根据权利要求
...【技术特征摘要】
1.一种六氟-1,3-丁二烯的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述三氟氯乙烯与1,1,2-三氟-1,2,2-三氯乙烷的摩尔比为(2~4):1。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述三氟氯乙烯与1,1,2-三氟-1,2,2-三氯乙烷先经预热混合,混合的气体再通入反应器中;
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述催化剂包括金属氧化物、金属卤化物或改性催化剂中的任意一种或至少两种的组合;
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述反应器的温度为200~400℃,优选为200-300℃;
6.根据权利要求1-...
【专利技术属性】
技术研发人员:张焱,臧立杰,王涛,贾金然,孟庆森,
申请(专利权)人:天津绿菱气体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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