【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅加工，具体为一种碳化硅粗糙表面打磨装置。
技术介绍
1、碳化硅陶瓷制品是一类非常耐高温、耐腐蚀和具有优异机械性能的陶瓷制品，碳化硅陶瓷制品在基板材料、封装材料、散热片、能源转换器件等半导体行业中有着广泛的应用，其中碳化硅散热片（如图10所示）在半导体器件散热器中应用较为广泛，碳化硅散热片在制造过程中通常需要进行打磨加工，以确保表面平整度和精度，以及提高散热效果和外观质量。
2、现有的碳化硅散热片在进行打磨加工时，通常是先使用夹持件对碳化硅散热片进行固定，然后再使用打磨件对碳化硅散热片的表面进行打磨，一面打磨完成后再调换碳化硅散热片位置，依次对碳化硅散热片的其他面进行打磨。上述碳化硅散热片的打磨方式存在以下不足：1、由于夹持件在对碳化硅散热片固定时形成了遮挡，所以在打磨的过程中需要调换碳化硅散热片的位置，使打磨件能够对被遮挡的位置进行打磨，调换位置时需要重新对夹持件中的碳化硅散热片进行拆装操作，比较消耗时间，影响碳化硅散热片整体的打磨效率；2、由于碳化硅散热片的顶部设置有多个散热沟槽，这些散热沟槽的内表面也需要进行打磨，导致碳化硅散热片需要打磨的面较多，打磨件在工作的过程中需要不断的变换位置，使打磨件能够贴合各个面进行打磨，打磨件变换位置的过程中需要花费较多的时间，再次影响碳化硅散热片整体的打磨效率。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种碳化硅粗糙表面打磨装置，包括基座，所述基座的顶部安装有固定机构，所述固定机构的右侧安装有驱动固定
2、所述固定机构包括固定安装在基座右端顶部的空心圆盘，所述空心圆盘的内部周向均匀分布有若干驱动打磨机构沿空心圆盘径向移动的固定组件。
3、所述打磨机构包括上打磨组件、下打磨组件和若干侧打磨组件，所述上打磨组件与空心圆盘顶部的固定组件连接，所述侧打磨组件与前后两侧的固定组件对应连接，所述下打磨组件与空心圆盘底部的固定组件连接，所述上打磨组件、侧打磨组件和下打磨组件均由活动部件、弹性伸缩块和打磨部件构成。
4、在一种可能实施的方式中，所述驱动机构包括安装在横移机构上的空心方盘，所述空心方盘靠近打磨机构一侧分别安装有带动侧打磨组件上下运动的第一驱动组件、带动下打磨组件前后移动的第二驱动组件以及带动上打磨组件前后移动的第三驱动组件，所述空心方盘的内部安装有依次驱动第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件运转的传动组件，所述空心方盘远离打磨机构的一侧安装有驱动传动组件运转的驱动电机二。
5、在一种可能实施的方式中，所述固定组件包括转动安装在空心圆盘内部且沿空心圆盘径向分布的第一丝杠，所述第一丝杠的外部螺纹套装有第一滑块，所述第一滑块靠近打磨机构的一侧固定连接有支撑杆，所述空心圆盘靠近打磨机构的一侧开设有若干周向分布的第一滑槽，所述支撑杆滑动安装在第一滑槽的内部。
6、在一种可能实施的方式中，所述活动部件包括与支撑杆固定连接的活动槽，所述活动槽的内部滑动安装有活动块，所述活动块与活动槽的内壁之间固定连接有复位弹簧一，所述活动块远离空心圆盘轴线的一侧固定安装有套筒，所述弹性伸缩块固定连接在活动块靠近空心圆盘轴线的一侧。
7、在一种可能实施的方式中，所述打磨部件包括固定安装在弹性伸缩块靠近空心圆盘轴线一侧的支撑骨架，所述支撑骨架远离弹性伸缩块的一侧固定连接有橡胶层，所述橡胶层远离支撑骨架的一侧固定连接有打磨纸，位于所述空心圆盘顶部的打磨部件成半“非”字形，位于所述空心圆盘底部的打磨部件成“u”字形，位于空心圆盘前后两侧的打磨部件成“一”字形。
8、在一种可能实施的方式中，所述横移机构包括开设在基座顶部的第二滑槽，所述第二滑槽的内部转动安装有第二丝杠，所述第二丝杠的外部螺纹套装有第二滑块，所述第二滑块左右滑动安装在第二滑槽的内部。
9、在一种可能实施的方式中，所述传动机构包括转动安装在空心圆盘右侧的同步轮，所述同步轮的右侧同轴连接有半齿轮，所述空心圆盘的右侧转动安装有第一传动轮，所述第一传动轮通过锥齿轮组与第一丝杠啮合，所述第二丝杠的右端贯穿至基座的右侧后固定连接有第二传动轮，所述半齿轮与第一传动轮和第二传动轮均相配合，所述基座的顶部安装有驱动电机一，所述驱动电机一的输出轴上固定安装有驱动轮一，所述驱动轮一与同步轮啮合。
10、在一种可能实施的方式中，所述第一驱动组件包括前后对称开设在空心方盘靠近打磨机构一侧的竖直槽，所述竖直槽的内部上下滑动安装有第一滑座，所述第一滑座的顶部与竖直槽的内壁之间固定连接有第一压簧，所述第一滑座靠近打磨机构的一侧固定连接有与对应套筒相配合的第一插板，前后两个第一滑座之间固定连接有连接板，所述连接板的中部开设有腰圆形槽，所述空心方盘靠近打磨机构的一侧转动安装有第一驱动盘，所述第一驱动盘靠近打磨机构的一侧固定连接有与其不同轴线的推杆，所述推杆活动安装在腰圆形槽的内部。
11、在一种可能实施的方式中，所述第二驱动组件包括开设在空心方盘靠近打磨机构一侧的水平槽，所述水平槽的内部前后滑动安装有第二滑座，所述第二滑座的前后两端与水平槽对应内壁之间固定连接有第二压簧，所述第二滑座靠近打磨机构的一侧固定连接有与对应套筒相配合的第二插板，所述空心方盘靠近打磨机构的一侧转动安装有第二驱动盘，所述第二驱动盘靠近打磨机构的一侧转动安装有与其不同轴线的联动杆，所述联动杆远离第二驱动盘的一端与第二滑座转动连接，所述第三驱动组件与第二驱动组件的结构相同且第二驱动组件和第三驱动组件关于空心方盘上下对称分布。
12、在一种可能实施的方式中，所述传动组件包括转动安装在空心方盘的内部且上下对称分布的若干皮带轮，所述皮带轮的外部传动安装有传动带，所述传动带远离皮带轮的一侧设置有啮合段，所述第一驱动盘和第二驱动盘均同轴连接有位于空心方盘内部的驱动轮二，所述驱动轮二与啮合段相配合，所述驱动电机二的输出轴与皮带轮固定连接。
13、本专利技术的有益效果：1、本专利技术采用上打磨组件、侧打磨组件和下打磨组件的配合使用，上打磨组件、侧打磨组件和下打磨组件既可以作为打磨件进行使用，也可以作为夹持件进行使用，在上打磨组件进行打磨时，侧打磨组件和下打磨组件夹持在碳化硅的外部进行固定，同理，侧打磨组件或下打磨组件进行打磨时，上打磨组件和下打磨组件或侧打磨组件对碳化硅进行夹持，不需要对碳化硅的打磨面进行调节，缩短了碳化硅打磨的时间，提高了碳化硅打磨的效率。
14、2、本专利技术通过将打磨部件设计成与碳化硅表面相配合的形状，在进行打磨时，打磨部件能够完全与碳化硅相对应的面进行贴合，不需要变换打磨件的位置，达到快速对碳化硅的表面进行打磨的效果，而且在打磨过程中，当打磨纸发生磨损时，橡胶层和弹性伸缩块还能够将打磨纸挤压贴合在碳化硅的表面，起到自适应的作用，提高了打磨的效果。
15、3、本专利技术通过单一驱动源驱本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种碳化硅粗糙表面打磨装置，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）的顶部安装有固定机构（2），所述固定机构（2）的右侧安装有驱动固定机构（2）运转的传动机构（3），所述固定机构（2）的左侧设置有打磨机构（4），所述基座（1）的顶部安装有横移机构（5），所述横移机构（5）的顶部安装有与打磨机构（4）相配合的驱动机构（6）；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述驱动机构（6）包括安装在横移机构（5）上的空心方盘（61），所述空心方盘（61）靠近打磨机构（4）一侧分别安装有带动侧打磨组件（42）上下运动的第一驱动组件（62）、带动下打磨组件（43）前后移动的第二驱动组件（63）以及带动上打磨组件（41）前后移动的第三驱动组件（64），所述空心方盘（61）的内部安装有依次驱动第一驱动组件（62）、第二驱动组件（63）和第三驱动组件（64）运转的传动组件（65），所述空心方盘（61）远离打磨机构（4）的一侧安装有驱动传动组件（65）运转的驱动电机二（66）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述活动部件（411）包括与支撑杆（223）固定连接的活动槽（4111），所述活动槽（4111）的内部滑动安装有活动块（4112），所述活动块（4112）与活动槽（4111）的内壁之间固定连接有复位弹簧一（4113），所述活动块（4112）远离空心圆盘（21）轴线的一侧固定安装有套筒（4114），所述弹性伸缩块（412）固定连接在活动块（4112）靠近空心圆盘（21）轴线的一侧。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述打磨部件（413）包括固定安装在弹性伸缩块（412）靠近空心圆盘（21）轴线一侧的支撑骨架（4131），所述支撑骨架（4131）远离弹性伸缩块（412）的一侧固定连接有橡胶层（4132），所述橡胶层（4132）远离支撑骨架（4131）的一侧固定连接有打磨纸（4133），位于所述空心圆盘（21）顶部的打磨部件（413）成半“非”字形，位于所述空心圆盘（21）底部的打磨部件（413）成“U”字形，位于空心圆盘（21）前后两侧的打磨部件（413）成“一”字形。
6.根据权利要求3所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述横移机构（5）包括开设在基座（1）顶部的第二滑槽（51），所述第二滑槽（51）的内部转动安装有第二丝杠（52），所述第二丝杠（52）的外部螺纹套装有第二滑块（53），所述第二滑块（53）左右滑动安装在第二滑槽（51）的内部。
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述传动机构（3）包括转动安装在空心圆盘（21）右侧的同步轮（31），所述同步轮（31）的右侧同轴连接有半齿轮（32），所述空心圆盘（21）的右侧转动安装有第一传动轮（33），所述第一传动轮（33）通过锥齿轮组与第一丝杠（221）啮合，所述第二丝杠（52）的右端贯穿至基座（1）的右侧后固定连接有第二传动轮（34），所述半齿轮（32）与第一传动轮（33）和第二传动轮（34）均相配合，所述基座（1）的顶部安装有驱动电机一（35），所述驱动电机一（35）的输出轴上固定安装有驱动轮一（36），所述驱动轮一（36）与同步轮（31）啮合。
8.根据权利要求4所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述第一驱动组件（62）包括前后对称开设在空心方盘（61）靠近打磨机构（4）一侧的竖直槽（621），所述竖直槽（621）的内部上下滑动安装有第一滑座（622），所述第一滑座（622）的顶部与竖直槽（621）的内壁之间固定连接有第一压簧（623），所述第一滑座（622）靠近打磨机构（4）的一侧固定连接有与对应套筒（4114）相配合的第一插板（624），前后两个第一滑座（622）之间固定连接有连接板（625），所述连接板（625）的中部开设有腰圆形槽（626），所述空心方盘（61）靠近打磨机构（4）的一侧转动安装有第一驱动盘（627），所述第一驱动盘（627）靠近打磨机构（4）的一侧固定连接有与其不同轴线的推杆（628），所述推杆...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅粗糙表面打磨装置，包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）的顶部安装有固定机构（2），所述固定机构（2）的右侧安装有驱动固定机构（2）运转的传动机构（3），所述固定机构（2）的左侧设置有打磨机构（4），所述基座（1）的顶部安装有横移机构（5），所述横移机构（5）的顶部安装有与打磨机构（4）相配合的驱动机构（6）；
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述驱动机构（6）包括安装在横移机构（5）上的空心方盘（61），所述空心方盘（61）靠近打磨机构（4）一侧分别安装有带动侧打磨组件（42）上下运动的第一驱动组件（62）、带动下打磨组件（43）前后移动的第二驱动组件（63）以及带动上打磨组件（41）前后移动的第三驱动组件（64），所述空心方盘（61）的内部安装有依次驱动第一驱动组件（62）、第二驱动组件（63）和第三驱动组件（64）运转的传动组件（65），所述空心方盘（61）远离打磨机构（4）的一侧安装有驱动传动组件（65）运转的驱动电机二（66）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述固定组件（22）包括转动安装在空心圆盘（21）内部且沿空心圆盘（21）径向分布的第一丝杠（221），所述第一丝杠（221）的外部螺纹套装有第一滑块（222），所述第一滑块（222）靠近打磨机构（4）的一侧固定连接有支撑杆（223），所述空心圆盘（21）靠近打磨机构（4）的一侧开设有若干周向分布的第一滑槽（224），所述支撑杆（223）滑动安装在第一滑槽（224）的内部。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述活动部件（411）包括与支撑杆（223）固定连接的活动槽（4111），所述活动槽（4111）的内部滑动安装有活动块（4112），所述活动块（4112）与活动槽（4111）的内壁之间固定连接有复位弹簧一（4113），所述活动块（4112）远离空心圆盘（21）轴线的一侧固定安装有套筒（4114），所述弹性伸缩块（412）固定连接在活动块（4112）靠近空心圆盘（21）轴线的一侧。
5.根据权利要求4所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述打磨部件（413）包括固定安装在弹性伸缩块（412）靠近空心圆盘（21）轴线一侧的支撑骨架（4131），所述支撑骨架（4131）远离弹性伸缩块（412）的一侧固定连接有橡胶层（4132），所述橡胶层（4132）远离支撑骨架（4131）的一侧固定连接有打磨纸（4133），位于所述空心圆盘（21）顶部的打磨部件（413）成半“非”字形，位于所述空心圆盘（21）底部的打磨部件（413）成“u”字形，位于空心圆盘（21）前后两侧的打磨部件（413）成“一”字形。
6.根据权利要求3所述的一种碳化硅粗糙表面打磨装置，其特征在于：所述横移机构（5）包括开设在基座（1）顶部的第二滑槽（51），所述第二滑槽（51）的内部转动安装有第二丝杠（52），所述第二丝杠（52）的外部螺纹套装有第二滑块（53），所述第二滑块（53）左右滑动安装在第二滑槽（51）的内部。
【专利技术属性】
技术研发人员：李庆甲，高振国，陈光伟，
申请(专利权)人：辽宁汉京半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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