预对准机构和晶圆片定位设备制造技术

本技术公开一种预对准机构和晶圆片定位设备，其中，预对准机构，包括机座、感应结构与拍摄结构，本技术技术方案通过承载平台承载晶圆片，且带动晶圆片转动，感应结构工作感应晶圆片的外圈轨迹，识别晶圆片圆心与承载平台中心的位置偏移量，待晶圆片与承载平台中心同心时，承载平台再次转动一圈，通过感应结构感应晶圆片的外圈轨迹，以识别晶圆片外圈轨迹中定位用特征，以便于实现晶圆片在承载平台上的定位，通过拍摄结构识别晶圆片表面图案，且识别出图案的偏移角度以及偏移方向，进而实现对不带有边缘定位特征的晶圆片的对准定位，提高了设备的适用范围。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，特别涉及一种预对准机构和晶圆片定位设备。

技术介绍

1、在对晶圆片的自动化传递过程中，需要对晶圆片进行对准定位，一般，在晶圆片侧边都会有预留有平边或v槽等用于对准定位的特征，通过传感器正对平边或v槽等特征实现晶圆片的定位。

2、但是，针对由于制作工艺而导致外圈无平边或v槽等特征的晶圆片，无法通过传感器实现晶圆片的对准定位，需要额外的设备辅助对准定位，增加了晶圆片对准定位的成本，且降低了晶圆片传递的效率。

技术实现思路

1、本技术的主要目的是提供一种预对准机构，旨在解决不带对准定位特征的晶圆片对准定位，同时兼容带有平边或v槽的晶圆片对准定位。

2、为实现上述目的，本技术提出的预对准机构，包括：

3、机座，所述机座上设有承载平台；

4、感应结构，所述感应结构设于所述机座上，且位于所述承载平台一侧；以及

5、拍摄结构，所述拍摄结构设于所述机座上，所述拍摄结构位于所述感应结构一侧，且所述拍摄结构与所述承载平台相对设置。</p>

6、可选本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种预对准机构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的预对准机构，其特征在于，所述机座包括机本体、支撑板与竖板，所述支撑板设于所述机本体侧面，所述竖板设于所述支撑板侧面，所述支撑板上设有所述感应结构，所述竖板上设有所述拍摄结构，所述感应结构设于所述拍摄结构靠近所述支撑板一侧。

3.如权利要求2所述的预对准机构，其特征在于，所述拍摄结构包括光源组与拍摄组，所述拍摄组设于所述竖板侧面，且所述光源组与所述拍摄组连接，所述光源组朝向所述承载平台设置。

4.如权利要求3所述的预对准机构，其特征在于，所述竖板侧面设有调整组，且所述调整组与所述拍摄组连接。<...

【技术特征摘要】

1.一种预对准机构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的预对准机构，其特征在于，所述机座包括机本体、支撑板与竖板，所述支撑板设于所述机本体侧面，所述竖板设于所述支撑板侧面，所述支撑板上设有所述感应结构，所述竖板上设有所述拍摄结构，所述感应结构设于所述拍摄结构靠近所述支撑板一侧。

3.如权利要求2所述的预对准机构，其特征在于，所述拍摄结构包括光源组与拍摄组，所述拍摄组设于所述竖板侧面，且所述光源组与所述拍摄组连接，所述光源组朝向所述承载平台设置。

4.如权利要求3所述的预对准机构，其特征在于，所述竖板侧面设有调整组，且所述调整组与所述拍摄组连接。

5.如权利要求4所述的预对准机构，其特征在于，所述拍摄组包括拍摄件与镜头，所述拍摄件与所述调整组连接，所述拍摄件与所述镜头...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生财，曾凡贵，邢川川，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：新型
国别省市：