MoSi2加热器制造技术

本发明专利技术的课题在于提供一种MoSi<subgt;2</subgt;加热器，所述MoSi<subgt;2</subgt;加热器能够防止形成于电极部上的金属膜的剥离，能够实现加热器的长寿命化。一种MoSi<subgt;2</subgt;加热器，所述MoSi<subgt;2</subgt;加热器具有发热部、端子部和设置于该端子部的一部分上的电极部，其中，所述电极部具有金属膜，在所述金属膜与MoSi<subgt;2</subgt;基材之间具有膜厚为2.5μm以下的氧化膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及mosi2加热器。

技术介绍

1、mosi2(二硅化钼)加热器由于具有优异的耐氧化特性，因此从很早以前就被用作在大气或氧化性气氛下使用的超高温加热器，到目前为止被用于广泛的用途中。该加热器含有mosi2作为主要成分，为了增加电阻，有时添加sio2等绝缘性氧化物等。

2、目前，对于用于玻璃工业、陶瓷烧制以及其它许多领域中的mosi2加热器，如图1所示，存在u字形(图1(a))、l字形(图1(b))、w字形或多u字形(图1(c))、立体u字形(图1(d))、多圆周u字形(图1(e))、隔热材料嵌入型(图1(f))等各种形状/尺寸的加热器，它们根据目的、用途而区分使用。

3、图2示出u字形加热器的示意图。虽然加热器存在各种形状，但基本上由发热部23和两端的端子部21构成，并且在端子部的一部分上设置有与外部电源连接的电极部22。对加热器通电时，直径细的高电阻的部分成为高温，发挥作为发热部的作用，直径粗的低电阻的部分抑制发热，发挥用于将供电的部分保持于低温的端子部的作用。发热部的直径与端子部的直径呈约1：2的关系。

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【技术保护点】

1.一种MoSi2加热器，所述MoSi2加热器具有发热部、端子部和设置于该端子部的一部分上的电极部，其中，

2.根据权利要求1所述的MoSi2加热器，其中，所述氧化膜包含含有Si的氧化物。

3.根据权利要求1或2所述的MoSi2加热器，其中，所述金属膜包含选自Al、Ni、Cr和Ti的组中的任意一种以上的金属元素。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的MoSi2加热器，其中，所述金属膜的膜厚为100μm以上且300μm以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的MoSi2加热器，其中，所述MoSi2加热器含有35重量％以上的MoSi2。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种mosi2加热器，所述mosi2加热器具有发热部、端子部和设置于该端子部的一部分上的电极部，其中，

2.根据权利要求1所述的mosi2加热器，其中，所述氧化膜包含含有si的氧化物。

3.根据权利要求1或2所述的mosi2加热器，其中，所述金属膜包含选自al、ni...

【专利技术属性】
技术研发人员：成田里安，冈田悠希，高村博，
申请(专利权)人：JX金属株式会社，
类型：发明
国别省市：