一种激光镀膜清洗系统及清洗方法技术方案

本发明专利技术公开了一种激光镀膜清洗系统及清洗方法，激光镀膜清洗系统，包括镀膜清洗头、系统支架和电动平衡车等。镀膜清洗头端部为扁平鸭嘴形设计、并设有线状出光口，同时施以正压和负压气体保护，在确保清洗效果的同时，更有利于镜片的保护，保护周围环境；镀膜清洗头和电动平衡车分别安装在系统支架的前后侧壁上，操作人员只需要通过脚踏姿态控制车子的方向便可轻松移动到工作区域；系统支架上设有升降地脚，以便于姿态的调整。本发明专利技术是根据镀膜机内清洗工作专门开发的，适用于镀膜机内多角度、全方位的清洗，无需拆装镀膜机，有效克服了现有方法效率低、污染大、不适于大体积清洗等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光镀膜清洗系统及清洗方法，属于激光清洗。

技术介绍

1、在真空镀膜设备中，腔体内部的构件在镀膜工作运行一段时间后，表面累计的膜层会越来越厚，由于膜层较厚，膜层本身的应力较大，同时不同时间段沉积的膜层之间有黏附性问题，将导致构件表面膜层很容易脱落，在镀膜工艺中会对样品表面产生很大污染，从而极大影响镀膜良品率，同时也会影响真空部件连接处的强度和密封性能，再者层积的膜层有吸放气体油气现象存在，影响镀膜工作室真空度的同时也会释放吸附的油气，进而严重影响镀膜结合力、膜层吸收率增加等引起的质量问题。因而必须定期对腔体内部构件进行清洗。前期的清洁工作可以减少许多麻烦，避免许多小问题的发生，对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用，可大大提高真空系统中所有器壁和其他组件表面在各工作条件下的工作稳定性。

2、由于是真空电子束高温蒸镀的氧化物介质膜，膜层硬度较高，常用的砂纸打磨方法不但耗时耗力，而且清洁效果不好。如果仅用喷砂处理，由于铝合金表面硬度不高，沙粒在喷砂过程中会嵌入样品表面，不能清除干净，这些沙砾在镀膜过程中由于构件高速旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光镀膜清洗系统，其特征在于：包括镀膜清洗头、系统支架、机器人安装架、协作机器人、机器人底座、3D视觉相机、脉冲光纤激光器、控制箱、操作主机、冷水机、光纤托架、气源装置和电动平衡车；

2.如权利要求1所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：鸭嘴头上线状出光口的宽度为1±0.2mm，长度为20±0.2mm。

3.如权利要求1或2所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：鸭嘴头上出光端左右两侧吸尘孔的数量均为两个，且左右两侧吸尘孔对称设置；鸭嘴头连接端的左右侧壁上的负压接头对称设置。

4.如权利要求1或2所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：吸尘孔为细长状，吸...

【技术特征摘要】

1.一种激光镀膜清洗系统，其特征在于：包括镀膜清洗头、系统支架、机器人安装架、协作机器人、机器人底座、3d视觉相机、脉冲光纤激光器、控制箱、操作主机、冷水机、光纤托架、气源装置和电动平衡车；

2.如权利要求1所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：鸭嘴头上线状出光口的宽度为1±0.2mm，长度为20±0.2mm。

3.如权利要求1或2所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：鸭嘴头上出光端左右两侧吸尘孔的数量均为两个，且左右两侧吸尘孔对称设置；鸭嘴头连接端的左右侧壁上的负压接头对称设置。

4.如权利要求1或2所述的激光镀膜清洗系统，其特征在于：吸尘孔为细长状，吸尘孔的长度方向与从鸭嘴头连接端到出光端的方向一致，吸尘孔与线状出光口之间的间隔为2±0.02mm，吸尘孔的长度为2...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱华，谢玉春，王晶，吴文宇，黄星魁，缪健，李惠龙，吴玉堂，王国力，
申请(专利权)人：南京波长光电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：